[发明专利]显影设备及其显影液供应系统

说明书

本发明公开了一种显影设备及其显影液供应系统，其中，所述显影液供应系统包括：储液容器，包括进液口和出液口，用于储存第一显影液；第一管道，连接所述喷淋头和所述出液口，所述第一管道上设置有动力泵，所述动力泵将第一显影液通过所述第一管道输送至所述喷淋头；第二管道，连接到所述进液口，用于向所述储液容器补充第二显影液；第三管道，连通所述第一管道和所述第二管道，用于将第一显影液输送至所述第二管道，以使第二显影液与第一显影液在所述第二管道中混合后再输入到所述储液容器。本发明提供的显影液供应系统可以提高新补给的显影液与原有显影液相互混合的均匀性，提升显影工艺的品质。

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造过程中的生产设备，具体涉及一种显影设备及其显影液供应系统。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)工艺可分为三大流程，第一段为阵列基板及彩膜基板的工艺，第二段为配向、液晶填充与封合面板工艺；第三段则为偏光片、背光片与面板组装的液晶显示模块。其中，阵列基板和彩膜基板的工艺中包含多个曝光显影的步骤，需要使用到显影设备。

液晶显示器行业中，对玻璃基板进行显影的工艺主要包括：将待显影玻璃基板放置于显影腔，进而采用显影机(Developer)的带有喷头的摇杆上下移动的方式对待显影玻璃基板喷洒显影液，实现对待显影玻璃基板的显影。其中，为了节约显影液消耗量，需要循环使用显影液，因此显影设备中通常是设置有可以使得显影液循环利用的显影液供应系统。

随着显影工艺的进行，循环一段时间后显影液浓度降低，此时需要向储液槽中补充新的显影液以达到显影所需浓度。为了避免设备停止运转以提高生成效率，通常是在进行显影工艺的同时补充新的显影液，新的显影液和原有的显影液在储液槽中混合的时间较短，存在混合不均匀的隐患，这将会导致玻璃基板上的显影图案发生难以维持显影均匀性、特别是线宽度均匀性(CD均匀性)的问题，尤其是对于线宽较小的图案。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种显影设备及其显影液供应系统，在补充新的显影液时，所述显影液供应系统可以使得显影液的混合更加均匀，提升了显影工艺的品质。

为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种显影液供应系统，用于向显影设备的喷淋头供应显影液，其中，所述显影液供应系统包括：

储液容器，包括进液口和出液口，用于储存第一显影液；

第一管道，连接所述喷淋头和所述出液口，所述第一管道上设置有动力泵，所述动力泵将第一显影液通过所述第一管道输送至所述喷淋头；

第二管道，连接到所述进液口，用于向所述储液容器补充第二显影液；

第三管道，连通所述第一管道和所述第二管道，用于将第一显影液输送至所述第二管道，以使第二显影液与第一显影液在所述第二管道中混合后再输入到所述储液容器。

其中，所述第二管道上设置有允许第二显影液流向所述储液容器的第一逆止阀，所述第一逆止阀在所述第二管道上位于所述第二管道的输入端和所述第二管道与所述第三管道的连接节点之间；所述第三管道上设置有允许第一显影液流向所述第二管道的第二逆止阀。

其中，所述第一管道上设置有第一开关阀，所述第二管道上设置有第二开关阀，所述第三管道上设置有第三开关阀。

其中，所述第二管道上设置有第一调压阀，所述第三管道上设置有第二调压阀。