[发明专利]光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置

说明书

光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置，主要包括：储罐(F101～F103)、反应釜(D101)、酯化釜(D102)、稀释釜(D103)、溶解釜(D104)、过滤机(L101)、干燥箱(L102)、过滤机(L103)、泵(J101～J103),其中，泵(J101)分别与储罐(F101)、反应釜(D101)相连接，过滤机(L101)分别与稀释釜(D103)、干燥箱(L102)相连接，其中，储罐(F101)公称容积3.3‑3.5m³。

技术领域

本发明涉及化合物合成装置，尤其涉及光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置。

背景技术

聚乙烯醇肉桂酸酯广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工，对光有敏感性，溶于乙二醇、乙酸乙酯、丁酮、环己酮、不溶于水和其他有机溶剂。聚乙烯醇肉桂酸酯曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化锘等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。现有的生产装置大多比较复杂，聚乙烯醇肉桂酸酯作为光敏材料，其生产装置优劣对于提高产品质量，减少副产物含量具有重要经济意义。

发明内容

本发明的目的在于提供光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置，主要包括：储罐(F101～F103)、反应釜(D101)、酯化釜(D102)、稀释釜(D103)、溶解釜(D104)、过滤机(L101)、干燥箱(L102)、过滤机(L103)、泵(J101～J103),其中，泵(J101)分别与储罐(F101)、反应釜(D101)相连接，过滤机(L101)分别与稀释釜(D103)、干燥箱(L102)相连接，其中，储罐(F101)公称容积3.3-3.5m³，溶解釜(D104)外锅直径600-650mm，泵(J101)进水口直径170-190mm。

光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置，生产流程为：将肉桂酸及氯化亚砜投入到反应釜D101内，在61-63℃下制得肉桂酰氯。将处理好的聚乙烯醇放入85-88℃溶剂吡啶中膨润，加入酯化釜D102内于40-43℃温度下滴加肉桂酰氯进行酯化反应。在酯化反应进行2-3h后，加丙酮稀释。然后导入D103中，在水中沉淀，经过洗净、干燥后即得粗产品。将粗产品在溶解釜D104内用环己酮及5-硝基苊溶解、过滤除去不溶杂质后即得产品。本发明优点在于：减少了反应中间环节，降低了反应温度及反应时间，提高了反应收率。

附图说明

图1是光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置，主要包括：储罐(F101～F103)、反应釜(D101)、酯化釜(D102)、稀释釜(D103)、溶解釜(D104)、过滤机(L101)、干燥箱(L102)、过滤机(L103)、泵(J101～J103)。

具体实施方式

下面结合具体实施实例对本发明作进一步说明：

实例1：

生产原料与用量

光敏材料聚乙烯醇肉桂酸酯的生产装置，主要包括：储罐(F101～F103)、反应釜(D101)、酯化釜(D102)、稀释釜(D103)、溶解釜(D104)、过滤机(L101)、干燥箱(L102)、过滤机(L103)、泵(J101～J103),其中，泵(J101)分别与储罐(F101)、反应釜(D101)相连接，过滤机(L101)分别与稀释釜(D103)、干燥箱(L102)相连接，其中，储罐(F101)公称容积3.3m³，溶解釜(D104)外锅直径600mm，泵(J101)进水口直径170mm。