专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于形成精细图形的助剂及其制备方法-CN200480007775.6有效
  • 西川雅人;高桥清久 - AZ电子材料(日本)株式会社
  • 2004-03-18 - 2006-04-26 - C08F16/00
  • 本发明用保护基团保护的改性聚乙烯醇(PVA)是一种这样的聚乙烯醇:其中改性聚乙烯醇中,根据凝胶渗透色谱法由聚乙二醇标准测定的重均分子量为250,000或更高的改性聚乙烯醇的高分子量主体成分的数量为1000ppm或更少。用离子交换处理,然后在80℃或更高的温度下热处理,通过从改性PVA例如缩醛化PVA除去金属离子和酸来制备改性PVA。用于本发明精细图形形成的助剂包含上述改性PVA,水溶性交联剂,和水或水与水溶性有机溶剂的混合溶剂。在抗蚀图形(3)上涂覆用于精细图形形成的助剂,在上面形成了涂层(4)。然后将抗蚀图形(3)和涂层(4)进行加热,从而酸从抗蚀图形(3)扩散入涂层(4)中。结果抗蚀图形表面附近处的涂层被扩散出的酸交联和固化。涂层显影,在抗蚀图形上形成了有交联和固化层的孔状图形,孔径小于曝光波长的极限分辨率,且无显影缺陷。
  • 用于形成精细图形助剂及其制备方法

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