[发明专利]用于二极管清洗的混合酸、生产方法、二极管清洗方法

权利要求书

1.用于二极管清洗的混合酸的生产方法，其特征在于：

包括如下步骤：

在温度25±5℃时，按照以下顺序加入原料，其中混合酸由氢氟酸、醋酸、硫酸和硝酸组成，所述氢氟酸：醋酸：硫酸：硝酸的体积比为＝8.8:13:5.6:9.2；

步骤1：在容器中加入浓度为99.6～99.9％的醋酸，然后加入浓度为49±0.5％的氢氟酸，搅拌10～15分钟；

步骤2：再加入浓度为68±0.5％的硝酸，搅拌15分钟；

步骤3：最后加入浓度为98.1±0.5％的硫酸，混合后搅拌2～3小时。

2.根据权利要求1所述的用于二极管清洗的混合酸的生产方法，其特征在于：

氢氟酸的浓度为49％；

醋酸的浓度为99.7％；

硫酸的浓度为98％；

硝酸的浓度为68％。

3.根据权利要求1或2所述的用于二极管清洗的混合酸的生产方法，其特征在于：

所述搅拌方法采用机械搅拌或泵循环搅拌。

4.根据权利要求1所述的用于二极管清洗的混合酸的生产方法，其特征在于：

所述步骤3反应完成后，再对容器中的反应物进行抽真空减压脱色处理。

5.根据权利要求4所述的用于二极管清洗的混合酸的生产方法，其特征在于：

所述抽真空减压脱色的时间为10分钟。