[发明专利]基于结构光照明的面形测量装置和方法

权利要求书

1.基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：包括结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块；

所述结构光照明模块按照光线传播方向依次为：激光器一(1)、传导光纤(2)、准直镜(3)、振幅型正弦光栅(4)和管镜一(5)；

所述轴向扫描模块按照光线传播方向依次为：偏振分光镜一(6)、四分之一波片一(7)、物镜一(8)、平面反射镜(9)、管镜二(10)、管镜三(11)、偏振分光镜二(12)、四分之一波片二(13)和物镜二(14)；

所述探测模块按照光线传播方向依次为：管镜四(15)和CCD(16)；

物镜二(14)的下方设置被测样品(17)；

所述激光器一(1)发出激发光，经过所述传导光纤(2)和所述准直镜(3)之后形成平行光，平行光经过所述振幅型正弦光栅(4)调制后，依次经过所述管镜一(5)、所述偏振分光镜一(6)、所述四分之一波片一(7)和所述物镜一(8)出射到所述平面反射镜(9)，反射后的光依次经过所述物镜一(8)、所述四分之一波片一(7)、所述偏振分光镜一(6)、所述管镜二(10)、所述管镜三(11)、所述偏振分光镜二(12)、所述四分之一波片二(13)和所述物镜二(14)后出射到所述被测样品(17)表面形成正弦分布的照明光；照射在所述被测样品(17)表面正弦分布的光经样品表面反射后，依次经过所述物镜二(14)和所述四分之一波片二(13)，然后经所述偏振分光镜(12)反射，最后被所述管镜四(15)会聚在所述CCD(16)上，获得图像。

2.根据权利要求1所述的基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：所述偏振分光镜一(6)反射光偏振方向同管镜一(5)出射光偏振方向相同。

3.根据权利要求1所述的基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：所述偏振分光镜二(12)透射光偏振方向同管镜三(11)出射光偏振方向相同。

4.根据权利要求1所述的基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：所述平面反射镜(9)轴向最大移动范围等于物镜一(8)的焦深。

5.根据权利要求1所述的基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：所述管镜一(5)和管镜二(10)焦距相等。