[发明专利]一种用于质谱连续在线监测的VUV灯电离源装置

权利要求书

1.一种用于质谱连续在线监测的VUV灯电离源装置，包括VUV灯(1)、密闭的电离源腔体(2)，电离源腔体(2)一侧壁面开有通孔，通孔经挡板阀(10)与真空泵(9)连接，于电离源腔体(2)侧壁面上设有用于测量腔体内真空度的真空计(8)；其特征在于：

于电离源腔体(2)壁面上设有离子出口，于电离源腔体(2)外部靠近离子出口处设有Skimmer电极(6)；

VUV灯(1)的出光口置于电离源腔体(2)内部，VUV灯(1)发出的光依次经电极组(11)、离子出口和Skimmer电极(6)；

电极组(11)由2片或者3片以上中部设有通孔的极片构成；相邻极片间通过绝缘环间隔；由1片或者2片以上四氟绝缘环构成四氟绝缘环组(5)；

样品分子进样管(3)穿过电离源腔体(2)壁面伸入至电离源腔体(2)内；构成四氟绝缘环组(5)的四氟绝缘环为中部设有第一通孔的平板结构，于靠近VUV灯(1)出光口的四氟绝缘环的第一通孔的内壁面上沿径向设有第二通孔，伸入电离源腔体(2)内的样品分子进样管(3)一端插接于第二通孔内，样品分子(4)经样品分子进样管(3)和第二通孔通入第一通孔内。

2.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

构成电极组(11)的极片、构成四氟绝缘环组(5)的绝缘环和Skimmer电极(6)均为中部设置有通孔的平板结构，并且它们间均为平行、绝缘、同轴放置；样品分子出口面向电极组(11)的中部通孔区域。

3.根据权利要求1或2所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

电极组(11)、四氟绝缘环组(5)和Skimmer电极(6)为圆环状或者方环状极片；材料为不锈钢等金属或者表面镀了金属的极片；电极组(11)极片数量为2片或者3片以上；极片孔径为1～50mm。

4.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

在电极组(11)、四氟绝缘环组(5)和Skimmer电极(6)上按照从高到低依次施加不同轴向电压并在轴线方向上形成大小为5～500V/cm的传输电场，电场可以是均匀的，也可以使非均匀的。

5.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

Skimmer电极(6)小孔直径为0.5～5mm。

6.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

样品分子进样管(3)内径均为Φ50～530μm，长度均为5～200cm，气体样品进样量为0.1～200ml/min，电离源腔体(2)内的真空度维持在1Torr～10Torr。

7.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

VUV灯电离源装置选择电离能大于10.0ev小于10.6ev的VUV灯。

8.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

VUV灯(1)点亮所照射的紫外光与通过样品分子进样管(3)进样的样品分子(4)发生低气压电荷转移反应，电荷转移反应电离所需的紫外光由VUV灯(1)产生；电极组(11)、四氟绝缘环组(5)和Skimmer电极(6)三者的中空区域共同构成电荷转移反应电离反应区。

9.根据权利要求1所述的VUV灯电离源装置，其特征在于：

电离得到的离子(7)通过Skimmer电极(6)小孔直接引入到质量分析器中；所述的质量分析器为飞行时间质量分析器、四级杆质量分析器或离子阱质量分析器。