[发明专利]一种变形镜刚体位移误差测量的方法及装置有效
| 申请号： | 201711207656.0 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109839086B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;乔彦峰;莫成钢 | 申请（专利权）人： | 长春长光华大智造测序设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;罗瑶 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 变形 刚体 位移 误差 测量 方法 装置 | ||
1.一种变形镜刚体位移误差测量的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S001：测量连接在变形镜圆周边缘的平面的面形数据，并得出变形镜的刚体位移量θx和θy；
S002：测量变形镜通光区域内的凸面/凹面的面形数据，并得出变形镜的刚体位移整体数据X/θy和Y/θx；
S003：根据变形镜的刚体位移量θx和θy及刚体位移整体数据X/θy和Y/θx，计算出变形镜的变形量X和Y。
2.如权利要求1所述的变形镜刚体位移误差测量的方法，其特征在于，在步骤S001中，干涉仪上安装平面标准具测量连接在变形镜圆周边缘的平面的面形数据，并根据Zernike系数Z2和Z3项获得反映变形镜刚体位移量θx和θy，其Z2为倾斜x项，Z3为倾斜y项。
3.如权利要求2所述的变形镜刚体位移误差测量的方法，其特征在于，在步骤S002中，干涉仪上更换球面标准具测量变形镜通光区域内的凸面/凹面的面形数据，并根据Zernike系数Z2和Z3项获得反映变形镜刚体位移整体数据X/θy和Y/θx。
4.一种变形镜刚体位移误差测量的装置，其特征在于，包括：
可变形镜框，其中部具有用于安装变形镜的安装架，所述变形镜的圆周边缘连接有用于测量的平面；
驱动器，其安装在所述可变形镜框上，用于驱动可变形镜框变形；所述驱动器具有四个，四个所述驱动器均匀安装在可变形镜框上的一个圆周上，并且分为两组，其中位于直线上的两个所述驱动器为一组，两组所述驱动器分别安装在所述可变形镜框相反的两个面上;
以及干涉仪，其安装有平面标准具或球面标准具，用于测量变形镜圆周边缘的平面和通过区域内凸面/凹面的面形数据。
5.如权利要求4所述的变形镜刚体位移误差测量的装置，其特征在于，所述变形镜的圆周边缘连接有一个环形平面，并且两者为一体式结构。
6.如权利要求4所述的变形镜刚体位移误差测量的装置，其特征在于，还包括位移传感器，每个所述驱动器对应设置有一个所述位移传感器。
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