[发明专利]一种石墨舟对中装置

权利要求书

1.一种石墨舟对中装置，其特征是包括石墨舟盖板，石墨舟底盘，石墨舟盖板对中模块，石墨舟底盘对中模块和底座；其中，石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块固定于底座上，石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上，石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座的中央。

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述石墨舟盖板对中模块有3个。

3.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述石墨舟底盘对中模块有3个。

4.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述石墨舟底盘上有通孔，对中模块预留槽，石墨舟盖板取样槽，石墨舟盖板边槽，晶片边槽和取晶片预留槽；其中，石墨舟底盘的圆周上表面有石墨舟盖板边槽，石墨舟盖板取样槽位于石墨舟底盘上表面，石墨舟盖板取样槽连接石墨舟盖板边槽和晶片边槽，石墨舟底盘中部上表面有晶片边槽，取晶片预留槽位于晶片边槽上，对中模块预留槽位于石墨舟底盘圆周侧面，通孔位于石墨舟底盘中心上表面。

5.根据权利要求4所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述通孔有3个。

6.根据权利要求4所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述对中模块预留槽有3个。

7.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述石墨舟盖板对中模块包括石墨舟盖板导轨槽和石墨舟盖板支撑面；其中，石墨舟盖板导轨槽和石墨舟盖板支撑面相连，石墨舟盖板支撑面固定于底座上。

8.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置，其特征在于：所述石墨舟底盘对中模块包括晶片支撑片、石墨舟底盘下降导柱、石墨舟底盘下降对中斜面和石墨舟底盘支撑面；其中，晶片支撑片连接石墨舟底盘下降导柱，石墨舟底盘下降导柱连接石墨舟底盘下降对中斜面，石墨舟底盘下降对中斜面连接石墨舟底盘支撑面，石墨舟底盘支撑面固定于底座上。