[发明专利]介质阻挡放电离子源

说明书

技术领域

本发明涉及电离技术，特别是涉及一种介质阻挡放电离子源。

背景技术

离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在样品气体流经放电区时，可以被电场电离成离子。但是，传统的离子源电离面积小，电离效率较低，使用的电压也较大。

发明内容

基于此，有必要针对传统电离源电离面积小、电离效率低的问题，提供一种介质阻挡放电离子源。

一种介质阻挡放电离子源，包括：

第一螺旋电极，所述第一螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸；

第二螺旋电极，所述第二螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸，所述第二螺旋电极与所述第一螺旋电极共面且平行间隔设置；

第一绝缘层，所述第一绝缘层设置于所述第一螺旋电极与所述第二螺旋电极相对的侧壁；

第二绝缘层，所述第二绝缘层设置于所述第二螺旋电极与所述第一螺旋电极相对的侧壁。

在其中一个实施例中，所述第一螺旋电极与所述第二螺旋电极互补，并共同构成圆形结构。

在其中一个实施例中，所述第一螺旋电极的起始端与所述第二螺旋电极的起始端为互补的太极头。

在其中一个实施例中，第一螺旋电极包括第一螺旋条状基体，和覆盖所述第一螺旋条状基体的第一导电层；

所述第二螺旋电极包括第二螺旋条状基体，和覆盖所述第二螺旋条状基体的第二导电层；

所述第二螺旋条状基体与所述第一螺旋条状基体平行间隔设置。

在其中一个实施例中，所述第一导电层设置于所述第一螺旋条状基体与所述第二螺旋条状基体相对的侧壁；

所述第二导电层设置于所述第二螺旋条状基体与所述第一螺旋条状基体相对的侧壁。

在其中一个实施例中，所述介质阻挡放电离子源还包括：

第一支撑架，所述第一支撑架与所述第一螺旋电极的螺旋外围端固定连接；

第二支撑架，所述第二支撑架与所述第二螺旋电极的螺旋外围端固定连接。

在其中一个实施例中，所述第一螺旋电极与所述第二螺旋电极之间形成有螺旋放电沟道，所述螺旋放电沟道的延伸方向与所述第一螺旋电极和所述第二螺旋电极的延伸方向相同。

在其中一个实施例中，所述螺旋放电沟道的宽度为10微米-100微米。

在其中一个实施例中，所述螺旋放电沟道的纵宽比大于10:1。

在其中一个实施例中，所述第一螺旋电极和所述第二螺旋电极相对的表面设置有多个第一凸点；

所述第二螺旋电极和所述第一螺旋电极的表面设置有多个第二凸点。

在其中一个实施例中，所述介质阻挡放电离子源进一步包括电源，所述电源分别与所述第二螺旋电极和所述第一螺旋电极电连接。

上述介质阻挡放电离子源，采用共面且平行间隔设置的螺旋状的第一螺旋电极和第二螺旋电极，第一螺旋电极和第二螺旋电极之间的间隔用以通过样品并电离该样品。在螺旋状的放电电极之间设置细长连贯的通道，在不增大整体面积的情况下尽量的增大了样品电离的面积，从而使通过的样品流量增加，提高了电离效率。由于正负放电电极间的距离与外加电压大小正相关，所以上述介质阻挡放电离子源的结构减小了离子源所需的电压，减小了消耗，也避免了过大电压会对离子源周围设备产生影响。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的介质阻挡放电的离子源结构的俯视示意图；

图2为本发明一实施例提供的图1圈A部分的局部放大示意图；

图3为本发明一实施例提供的介质阻挡放电离子源结构(有支撑架)的俯视示意图；

图4为本发明一实施例提供的图3圈B部分(有凸点)的局部放大示意图；

图5为本发明一实施例提供的介质阻挡放电的离子源结构的局部放电示意图。

标号说明：

10 介质阻挡放电离子源

100第一螺旋电极

110第一螺旋条状基体

120第一导电层

130第一支撑架

140第一凸点

200第二螺旋电极

210第二螺旋条状基体

220第二导电层

230第二支撑架

240第二凸点

300放电沟道

400电源

510第一绝缘层

520第二绝缘层

具体实施方式