[发明专利]一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置

说明书

本发明实施例提供一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，能够解决现有技术中的磁隔板对掩模版上各个部分的磁吸力大小不均匀、磁吸附效果较差的问题。包括：底板。多组条形磁铁组，条形磁铁组设置在底板上，多组条形磁铁组并列设置且相互平行。其中，条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个条形磁铁设置相同的极性方向。提高了磁隔板对掩模版以及设置在磁隔板与掩模版之间的待蒸镀基板的吸附能力，并使得磁隔板对掩模版以及待蒸镀基板上各个位置处的吸附效果较为均衡，提高了待蒸镀基板的蒸镀效果。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点，已经逐渐成为显示领域的主流。

OLED按驱动方式可分为PMOLED(Passive Matrix Driving OLED，无源矩阵驱动有机发光二极管)和AMOLED(Active Matrix Driving OLED，有源矩阵驱动有机发光二极管)两种，由于AMOLED采用制备有TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)图案的背板作为显示基板，因此，AMOLED显示器不但具有低制造成本、高应答速度、节省功耗、可用于便携式设备的直流驱动、工作温度范围大等等优点，还可以获得更大的显示容量、更优的显示质量以及更长的寿命，因此，AMOLED被认为是最有发展前景的下一代平板显示技术之一。

OLED显示面板包括阵列排布的多个子像素单元，每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层采用有机电致发光材料形成，尤其对于AMOLED而言，目前主要的制作方式即是采用掩膜板并通过有机蒸镀工艺将高分子材料制作在AMOLED显示面板上。

在有机蒸镀腔室内，对待蒸镀基板进行蒸镀操作前需要在待蒸镀基板的待蒸镀面将掩模版贴合对位，掩模版与待蒸镀基板之间对位完成后，通过设置在蒸镀腔室顶部的磁隔板对掩模版进行吸附，由于磁隔板设置在待蒸镀基板背离掩模版的一侧，这样就通过磁力吸附掩模版的同时，使得位于磁隔板和掩模版之间的待蒸镀基板也一同被吸附固定，同时，磁隔板磁吸力的作用，使得待蒸镀基板与掩模版之间对位固定。

现有技术的磁隔板，如图1所示，在基底00上加工多个相互平行且间距相等的沟槽01，在沟槽01内以相同的极性设置方向分别设置条状磁铁02构成，如图2所示，由于条状磁铁02的磁感线方向(如图2中的虚线环所示)为由条状磁铁02的一端向另一端的圆弧形，而磁隔板与掩模版是相互平行的平面(掩模版在图2中未示出)，而且磁隔板在靠近吸附掩模版的过程中，磁隔板与掩模版之间始终各处距离相等，这就使得掩模版上各处受到的来自磁隔板的磁吸力大小不均匀，对应磁隔板中心位置的磁吸力较强、对应磁隔板边缘位置的磁吸力较弱，整体磁吸附效果较差。

发明内容

本发明实施例提供一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置，能够解决现有技术中的磁隔板对掩模版上各个部分的磁吸力大小不均匀、磁吸附效果较差的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面提供一种磁隔板，包括：底板。多组条形磁铁组，条形磁铁组设置在底板上，多组条形磁铁组并列设置且相互平行。其中，条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个条形磁铁设置相同的极性方向。

优选的，每一组条形磁铁组中的条形磁铁的设置数量均相同，多组条形磁铁组中的条形磁铁在底板上呈矩阵形式设置。

进一步的，在底板上还设置有多个并列设置且相互平行的辅助条形磁铁组，辅助条形磁铁组的设置方向与条形磁铁组的设置方向相互垂直，且辅助条形磁铁组设置在条形磁铁组中相邻两个条形磁铁之间。