[发明专利]加热系统及去气腔室

说明书

本发明涉及一种加热系统，包括：多个加热组件，每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件；多个加热组件的两个连接端分别与第一端子和第二端子相连；第一端子和第二端子用于连接电源；与所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于与对应的加热组件与第一端子或第二端子的连接导线互感；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过未检测到所述电流来判断该加热组件中的加热件存在异常。本发明还提供去气腔室。不仅便于快速地检查出加热件的异常，而且操作容易、结构简单、成本低廉。

技术领域

本发明属于半导体设备制造技术领域，具体涉及一种加热腔室及去气腔室。

背景技术

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，简称PVD)工艺在半导体制造业中占据重要的位置，通常一套完整PVD设备至少包括去气(Degas)、预清洗(Preclean)、物理气相沉积(PVD)三部分。去气的主要作用是：在沉积工艺之前对工件进行加热，以达到去除工件表面的水和有机物的目的。去气腔室一般采用灯管加热或灯泡加热，灯管或灯泡通常以并联方式形成加热电路，在加热过程中需要随时清楚灯管或灯泡的工作状态(例如，灯丝是否熔断)。

现有技术中采用如下方式加热是否出现异常：通过软件采集加热电路在每个输入电压下的对应电流的数值以形成标准列表，如果加热电路中有灯管或灯泡的灯丝熔断，则电流的数值会明显减少，故，通过将实际电流数值与标准列表中的对应数值进行比较，若，二者差距到一定程度，则认为有灯管或灯泡的灯丝熔断并抛出报警。

但是，采用现有的方式在实际应用中存在以下问题：

其一，由于灯丝受热后电阻会发生变化，因此，需要采集一系列电流信息作为标准列表中数值，以作为比较的依据；并且，每次调试都需要学习一次，且不同机台情况不一样，从而造成判断加热是否出现异常的过程较为复杂。

其二，无法明确具体是哪一个灯管或灯泡的灯丝熔断，还需要人为进行排查确定，而灯管或灯泡的灯丝的数量较多，因此，排查相对费时费力。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种加热系统及去气腔室，不仅该加热系统的判断加热过程异常的过程操作容易、结构简单、成本低廉；而且便于快速地排查出哪个加热件异常。

为解决上述问题，本发明提供了一种加热系统，包括：多个加热组件，多个所述加热组件并联后，与电源串联；其中，与至少一个所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过所述电流检测器未检测到所述电流来确定与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。

优选地，每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件；所有的加热组件均对应设置有所述电流互感器和所述电流检测器。

优选地，所述电流检测器还用于将检测到的电流转换为交流电压信号，并对所述交流电压信号整流获得直流电压信号，以便于通过所述电流检测器检测到所述直流电压信号来确定能够检测到所述电流。

优选地，所述电流检测器还用于根据获得的直流电压信号来选择性地控制固定电压的输出，以通过所述电流检测器检测到所述固定电压来确定能够检测到所述电流。

优选地，所述电流检测器包括：转换模块，其与所述电流互感器连接，用于将电流互感器得到的电流转换为电压信号；放大模块，用于将转换模块得到的电压信号放大；整流模块，用于将放大模块获得的交流信号进行整流处理获得直流电压信号；滤波模块，用于对整流模块获得的直流电压信号进行滤波；输出模块，用于将滤波模块获得的信号与预设偏置电压进行比较，并基于比较结果选择性地控制固定电压的输出。