[发明专利]加热系统及去气腔室在审
申请号: | 201710908793.0 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN109587831A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 王肃珂 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H05B1/02 | 分类号: | H05B1/02;G01R19/22 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热组件 加热件 电流互感器 电流检测器 加热系统 腔室 去气 连接导线 连接电源 连接端 检测 互感 串联 检查 | ||
1.一种加热系统,其特征在于,包括:多个加热组件,多个所述加热组件并联后,与电源串联;其中,与至少一个所述加热组件对应设置有:电流互感器和电流检测器;
所述电流互感器用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流;
所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流,以便于通过所述电流检测器未检测到所述电流来确定与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。
2.根据权利要求1所述的加热系统,其特征在于,每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件;所有的加热组件均对应设置有所述电流互感器和所述电流检测器。
3.根据权利要求1所述的加热系统,其特征在于,所述电流检测器还用于将检测到的电流转换为交流电压信号,并对所述交流电压信号整流获得直流电压信号,以便于通过所述电流检测器检测到所述直流电压信号来确定能够检测到所述电流。
4.根据权利要求3所述的加热系统,其特征在于,所述电流检测器还用于根据获得的直流电压信号来选择性地控制固定电压的输出,以通过所述电流检测器检测到所述固定电压来确定能够检测到所述电流。
5.根据权利要求4所述的加热系统,其特征在于,所述电流检测器包括:
转换模块,其与所述电流互感器连接,用于将电流互感器得到的电流转换为电压信号;
放大模块,用于将转换模块得到的电压信号放大;
整流模块,用于将放大模块获得的交流信号进行整流处理获得直流电压信号;
滤波模块,用于对整流模块获得的直流电压信号进行滤波;
输出模块,用于将滤波模块获得的信号与预设偏置电压进行比较,并基于比较结果选择性地控制固定电压的输出。
6.根据权利要求4或5所述的加热系统,其特征在于,还包括:控制器;
所述控制器,与所述电流检测器相连,用于通过所述电流检测器未检测到所述固定电压来判断与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。
7.根据权利要求6所述的加热系统,其特征在于,还包括:报警器;
所述报警器与所述控制器相连,用以在所述控制器判断出加热组件存在异常时所述控制器控制所述报警器发出报警。
8.根据权利要求1所述的加热系统,其特征在于,每个加热组件的两个连接端分别连接第一端子和第二端子,所述第一端子和所述第二端子用于连接电源;所述电流互感器用于与对应的加热组件和第一端子或第二端子之间的连接导线互感;在所述第一端子与所述电源之间或者所述第二端子与所述电源之间还设置有调功器。
9.根据权利要求5所述的加热系统,其特征在于,所述整流模块采用半波整流方式。
10.一种去气腔室,包括加热系统,其特征在于,所述加热系统采用权利要求1-9任意一项所述的加热系统。
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