[发明专利]修整的监视方法以及研磨装置

权利要求书

1.一种研磨垫的修整的监视方法，其特征在于，

使支承研磨垫的研磨台旋转，

一边使修整器沿所述研磨垫的半径方向摆动，一边将所述修整器按压于旋转的所述研磨垫而修整所述研磨垫，

在所述研磨垫的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的移动距离之积计算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的每单位时间的移动距离之积计算出所述修整器的功率，

基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率来确定所述修整器的剩余寿命，

若将所述修整器的剩余寿命设为Tend，将所述修整器的容许总作功量设为W0，将所述修整器的作功量的累积值设为W1，将所述功率设为P，则所述修整器的剩余寿命由

Tend＝(W0-W1)/P

来表示。

2.一种研磨垫的修整的监视方法，其特征在于，

使支承研磨垫的研磨台旋转，

一边使修整器沿所述研磨垫的半径方向摆动，一边将所述修整器按压于旋转的所述研磨垫而修整所述研磨垫，

在所述研磨垫的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的移动距离之积计算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的规定的时间范围内的移动平均值之积计算出所述修整器的功率，

基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率来确定所述修整器的剩余寿命，

若将所述修整器的剩余寿命设为Tend，将所述修整器的容许总作功量设为W0，将所述修整器的作功量的累积值设为W1，将所述功率设为P，则所述修整器的剩余寿命由

Tend＝(W0-W1)/P

来表示。

3.根据权利要求1或2所述的研磨垫的修整的监视方法，其特征在于，

所述移动距离由从所述研磨台的中心到所述修整器的距离和所述研磨垫的转速来计算。

4.一种研磨装置，其特征在于，具有：

支承研磨垫的研磨台；

使所述研磨台旋转的研磨台电机；

修整所述研磨垫的修整器；

使所述修整器沿所述研磨垫的半径方向摆动的旋转电机；

将所述修整器按压于旋转的所述研磨垫上的按压机构；和

监视所述研磨垫的修整的研磨垫监视装置，

所述研磨垫监视装置在所述研磨垫的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的移动距离之积计算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的每单位时间的移动距离之积计算出所述修整器的功率，

所述研磨垫监视装置基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率来确定所述修整器的剩余寿命，

若将所述修整器的剩余寿命设为Tend，将所述修整器的容许总作功量设为W0，将所述修整器的作功量的累积值设为W1，将所述功率设为P，则所述修整器的剩余寿命由

Tend＝(W0-W1)/P

来表示。

5.一种研磨装置，其特征在于，具有：

支承研磨垫的研磨台；

使所述研磨台旋转的研磨台电机；

修整所述研磨垫的修整器；

使所述修整器沿所述研磨垫的半径方向摆动的旋转电机；

将所述修整器按压于旋转的所述研磨垫上的按压机构；和

监视所述研磨垫的修整的研磨垫监视装置，

所述研磨垫监视装置在所述研磨垫的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的移动距离之积计算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨垫的圆周方向上的规定的时间范围内的移动平均值之积计算出所述修整器的功率，

所述研磨垫监视装置基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率来确定所述修整器的剩余寿命，

若将所述修整器的剩余寿命设为Tend，将所述修整器的容许总作功量设为W0，将所述修整器的作功量的累积值设为W1，将所述功率设为P，则所述修整器的剩余寿命由

Tend＝(W0-W1)/P

来表示。

6.根据权利要求4或5所述的研磨装置，其特征在于，

所述移动距离由从所述研磨台的中心到所述修整器的距离和所述研磨垫的转速来计算。