[发明专利]一种太阳能电池片栅线电极制作中图形转移的方法在审
| 申请号： | 201710402500.1 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108987527A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈伟文;宋广华;罗骞 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图形转移 感光膜 电池片 太阳能电池片 单片电池 栅线电极 太阳能电池硅片 金属栅线 栅线图形 包覆的 破片率 裁切 成栅 对贴 良率 撕除 显影 制作 金属 曝光 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池片栅线电极制作中图形转移的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：
在电池片双面同时贴感光膜；
对贴感光膜后的电池片进行裁切，形成感光膜包覆的单片电池片；
对单片电池片进行双面同时曝光，达到图形转移；
将感光膜上的PET膜撕除，并进行显影得到所需要的图形；
进行金属成栅，形成金属栅线。
2.根据权利要求1所述一种太阳能电池片栅线电极制作中图形转移的方法，其特征在于：所述图形转移制程采用单片传送的方式进行连续生产，片与片间距为3mm～15mm。
3.根据权利要求1所述一种太阳能电池片栅线电极制作中图形转移的方法，其特征在于：所述对电池片进行裁切采用刀片、自动剪或激光等工具将贴完感光膜的电池片分成单片电池片。
4.根据权利要求1所述一种太阳能电池片栅线电极制作中图形转移的方法，其特征在于：所述单片电池片双面同时曝光，从而达到图形转移，片与片间的图形偏移范围为±100um。
5.根据权利要求1所述一种太阳能电池片栅线电极制作中图形转移的方法，其特征在于：所述单片电池片双面同时曝光方式可采用单台面多片曝光或多台面单片曝光方式。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
