[发明专利]缺陷检测方法以及缺陷检测装置

权利要求书

1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：

a)在目标物体内产生弹性波的步骤；

b)在所述目标物体的表面的测量区域上进行频闪照明的步骤；

c)通过控制所述弹性波的相位以及所述频闪照明的定时，关于所述弹性波的至少三个相互不同的相位，集中地测量在所述测量区域内每个点处的法线方向上的位移的步骤；以及

d)基于关于所述至少三个相位的所述测量区域内每个点处的所述法线方向上的位移，检测所述测量区域内的缺陷的步骤。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤c)进一步包括：

通过控制所述弹性波的相位以及所述频闪照明的定时，使用散斑剪切干涉法，关于所述弹性波的至少三个相互不同的相位，集中地测量在所述测量区域内每个点处的法线方向上的位移的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷检测方法，其特征在于，关于所述至少三个相位的相位状态的数量等于或者大于2n+1，其中所述n是等于或者大于2的自然数，并且所述弹性波的第n次谐波分量基于在所述测量区域内每个点处的所述法线方向上的所述位移被检测，并且在所述测量区域内的缺陷基于所述第n次谐波分量被检测。

4.一种缺陷检测装置，其特征在于，包含：

a)产生单元，用于在目标物体内产生弹性波；

b)照明单元，用于在所述目标物体的表面的测量区域上进行频闪照明；以及

c)位移测量单元，用于通过控制所述弹性波的相位以及所述频闪照明的定时，关于所述弹性波的至少三个相互不同的相位，集中地测量在所述测量区域内每个点处的法线方向上的位移。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述c)位移测量单元被进一步配置为：

用于通过控制所述弹性波的相位以及所述频闪照明的定时，使用斑纹剪切干涉测量法，关于至少三个相互不同的所述弹性波的相位，集中地测量在所述测量区域内每个点处的法线方向上的位移。

6.根据权利要求4或5所述的缺陷检测装置，其特征在于，关于所述至少三个相位的相位状态的数量等于或者大于2n+1，其中所述n是等于或者大于2的自然数，并且所述弹性波的第n次谐波分量基于在所述测量区域内每个点处的所述法线方向上的所述位移被检测，并且在所述测量区域内的缺陷基于所述第n次谐波分量被检测。