[发明专利]光罩卡夹清洁装置及曝光机

说明书

本发明涉及一种光罩卡夹清洁装置及曝光机，涉及液晶显示器技术领域，用于解决现有技术中存在的清洁效率低以及清洁程度不够彻底的技术问题。本发明的光罩卡夹清洁装置，包括吸附部件，该吸附部件固定于曝光机上用于容纳光罩卡夹的光罩交换腔处，当执行上机或下机动作时，吸附部件能够迅速地将光罩卡夹上的异物吸走，因此通过该吸附部件可提高清洁的效率；此外，对于光罩卡夹从光罩交换腔的开口处运动到完全进入光罩交换腔中的这一过程而言，随着光罩卡夹的运动，吸附部件进行扫描式吸附，因此能够对光罩卡夹进行彻底的清洁，使产品的品质得到了保障。

技术领域

本发明涉及液晶显示器技术领域，特别地涉及一种光罩卡夹清洁装置及曝光机。

背景技术

目前，在薄膜晶体管液晶显示屏(TFT-LCD)行业的曝光(Photo)制程中，需要使用曝光机，通过光罩进行电路图形定义，在此过程中，当需要进行制程切换时，需要对曝光机的光罩进行上下机动作(约1天/次)，即：将暂不使用的光罩从机台加载(Load)出来并装入光罩专用盒子内封存，然后将需要使用的光罩从光罩盒子中取出，放置在光罩卡夹中，然后加载进入机台内。

由于光罩进行上下机操作时，光罩是放置在光罩卡夹中进入机台，而卡夹上不可避免的会携带一些异物(Partcile)，这些异物会随着光罩卡夹进入机台内部，这些异物经过长期的积累将会对产品品质带来影响。

现有的清洁手段主要是在光罩放置入光罩卡夹内、进入机台前，操作人员手动使用酒精无尘布对光罩卡夹表面的异物进行清洁，但是手动清洁效率低下，大约需要30分钟才能完成清洁工作；而且由于清洁工作是在曝光机外进行，因此忽视了光罩卡夹进入曝光机的这一过程的清洁，即清洁的不够彻底。

发明内容

本发明提供一种光罩卡夹清洁装置及曝光机，用于解决现有技术中存在的清洁效率低以及清洁程度不够彻底的技术问题。

本发明提供一种光罩卡夹清洁装置，包括吸附部件，所述吸附部件固定于光罩交换腔的开口处，所述光罩交换腔用于容纳光罩卡夹；

所述吸附部件的吸附面朝向所述光罩卡夹的表面设置。

在一个实施方式中，所述吸附部件包括：

用于吸附所述光罩卡夹上异物的真空吸附管；以及

用于为所述真空吸附管提供真空吸附动力的真空气体供应单元；

所述真空吸附管面向所述光罩卡夹的吸附面上分布有多个吸附单元。

在一个实施方式中，所述真空吸附管包括：

沿所述光罩卡夹的高度方向上从所述光罩卡夹的上表面延伸至所述光罩卡夹的下表面的侧壁吸附管；以及

沿所述光罩卡夹的宽度方向从所述光罩卡夹的一侧延伸至所述光罩卡夹的另一侧的顶面吸附管；

其中，所述侧壁吸附管的轴线以及所述顶面吸附管的轴线均与所述光罩卡夹的移动方向垂直。

在一个实施方式中，所述侧壁吸附管与所述光罩卡夹的侧壁之间的距离小于或等于25mm；所述顶面吸附管与所述光罩卡夹的上表面之间的距离小于或等于25mm。

在一个实施方式中，所述真空吸附管上设置有用于与所述真空气体供应单元相连通的真空接口，所述真空接口上设置有控制开关。

在一个实施方式中，还包括传感器，所述传感器包括位于所述光罩卡夹的下方的光罩感应传感器以及位于所述光罩交换腔内侧的限位传感器；

所述控制开关与所述传感器电连接。

在一个实施方式中，所述吸附单元为吸附孔或真空吸盘。

在一个实施方式中，所述吸附孔为圆孔、方孔或圆锥孔。