[发明专利]X射线检查装置及X射线检查方法

说明书

不造成成本的增加和装置结构的限定地减轻X射线检查装置中因重复性误差而引起的三维数据的画质降低。一种X射线检查装置，包括：工作台，其通过电机的驱动使检查对象物、X射线源以及X射线照相机中的至少一者移动；位置检测单元，其定期获取所述电机的位置检测值，并将该位置检测值与时间相关联地存储；拍摄时刻获取单元，其将来自所述X射线照相机的拍摄时刻与时间相关联地存储；拍摄位置计算单元，其根据在拍摄时刻的所述电机的位置检测值，求得在拍摄时刻的所述检查对象物、所述X射线源以及所述X射线照相机之间的位置关系；以及重建单元，其使用由所述X射线照相机所拍摄的拍摄数据以及在该拍摄数据的拍摄时刻的所述位置关系进行重建处理。

技术领域

本发明涉及一种使用X射线获取被检查物的多个图像并创建三维数据的X射线检查技术。

背景技术

由多个X射线图像创建三维数据时，使用到层析X射线照相组合和CT等技术。无论在任何技术中，使用正确的拍摄位置进行重建尤为重要。当图像的拍摄位置不正确时(即，应当拍摄的位置与实际拍摄的位置间存在偏移量时)，三维数据的画质则会降低。

拍摄位置变得不正确是由于移动X射线源、照相机、检查对象物的工作台的定位精度不足而引起的。

随着拍摄图像的高分辨率化的推进，要求更高的定位精度。例如，在推进电子部件等的小型化的领域，要求以几微米的高分辨率进行拍摄。在这种情况下，由于下述原因会产生因定位精度不足而引起的画质降低。

第一、即便定位精度相同，但图像越为高分辨率，则对画质的影响越大。这是因为即便位置误差相同，但越为高分辨率，其图像上的偏移量越大。第二、图像越为高分辨率，其视野越窄(拍摄面积小)，从而拍摄张数增加。为了尽快结束检查，需要使工作台高速移动，而如果使工作台高速移动则定位精度会进一步恶化。

针对上述问题，可以通过工作台的改良来提高定位精度，但这会导致成本的增高。因此，能够想到在通过校正将拍摄位置设置成正确的位置的基础上进行重建处理的方法。

但事先对目标位置与实际位置间的偏移量进行学习，再基于学习结果对摄像时的位置进行校正并没有效果。这是因为并不是每次都产生相同的偏移量，而是每次拍摄都会产生变动的偏移量(重复性误差)。

专利文献1中公开了在工作台上设置传感器，根据拍摄时传感器的读取值来计算位置偏移量的方法。更具体地，在专利文献1中，在使载有被检查物的工作台转动，从而进行检查(拍摄)的CT装置中，通过传感器来检测工作台的倾斜度，从而求得拍摄时的位置偏移量。在专利文献1中，通过这种软校正来防止因工作台的晃动而引起的画质劣化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-115216号公报

发明内容

然而，专利文献1的方法中存在下述问题点。第一、会受到由传感器的精度产生的限制。若传感器的精度不够高，则得不到校正的效果。第二、若向检查装置增加可动部，则随之必须增加传感器。第三、对于使用非旋转式工作台，即，使用了XY工作台和XYZ工作台等由多个轴构成的工作台的装置并不适用。因为在由多个轴构成的工作台中，所产生的位置偏移量并不是由整个工作台的晃动引起的，而是因各轴的定位误差引起的。

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种技术，能够减轻在X射线检查装置中因重复性误差而引起的三维数据的画质降低，并廉价且能够广泛使用。

为了解决上述课题，根据本发明的一个方面的X射线检查装置，根据改变检查对象物、X射线源以及X射线照相机的相对位置而获取的多个拍摄数据,重建所述检查对象物的三维数据，其特征在于，包括：

工作台，其通过电机的驱动使检查对象物、X射线源、以及X射线照相机中的至少一者移动；