[发明专利]光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径

说明书

本发明提供光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径，光照射装置可以增大光量调整的程度，在光量调整时也能够使光谱分布无变化，能够在光量调整之后立即使用该光源光，在光量调整时能够均匀地维持光强度的面内分布，而且，在调整光谱分布时能够均匀地维持面内的光谱分布。光照射装置具备多个光源、可分别选择性地传送来自多个光源的光的多个光传送路径、具有来自这些多个光传送路径的光分别入射的多个光入射端和单一的光射出端的光纤路径。光纤路径具备多个光纤束，这些多个光纤束在入射端分别构成所述多个光入射端，并且在射出端组合而构成所述单一的光射出端。多个光纤构成多个光纤束。多个光纤束中的光纤在单一的光输出端相互均匀地分散配置。

技术领域

本发明涉及能够可变控制照射的光的强度或光谱分布的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

背景技术

在以氙灯等放电灯为光源的光照射装置中，要使照射的光的强度阶段性地减小的情况下，通常进行的是使向该放电灯供给的灯电流阶段性地减小。但是，基于这种灯电流的减光控制，极限是使光强度降低至最大的1/2左右，在要减小至低于1/2的情况下，需要将网状滤波器或冲孔板等机械的减光单元插入光路。

关于这种机械的减光单元，专利文献1中记载有，在可减光的光源装置和光纤束之间设置形成有多个通孔的减光板，将从光源装置朝向光纤束的光减光。另外，专利文献2中记载有，在光路中插入遮光板上设置有多个通孔的冲孔式减光滤波器，将来自光源的光束的一部分阻断并减光。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4406140号公报

专利文献2：国际公开第2013/136867号公报

发明内容

发明所要解决的课题

如果使用这种机械的减光单元，虽然可以将来自光源的光大幅减光，但不仅具有使通过的光的光谱分布变化这样的问题，而且面内的光强度分布的均匀性也会恶化。

另外，在放电灯中，使灯电流变化而进行光源光的减光(调光)本身具有从光源射出的光的光谱分布特性变化这样的比较大的问题，进而，还具有以下问题：使灯电流变化后直至灯电压稳定而光束稳定为止，需要10分钟左右的待机时间，在刚减光之后不能立即使用该减光光。

本发明提供能够消除现有技术的上述的问题点的新的结构的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

即，本发明的目的在于，提供能够增大光量调整的程度(光量调整率)的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

本发明的其它目的在于，提供在光量调整时光谱分布也没有变化的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

本发明的进一步的目的在于，提供可以在光量调整之后立即使用该光源光的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

本发明的再进一步的目的在于，提供在光量调整时也能够均匀地维持光强度的面内分布的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

本发明的进一步的目的在于，提供在调整光谱分布时光谱分布在面内也均匀的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。

用于解决课题的手段

根据本发明，光照射装置具备：多个光源；可分别选择性地传送来自多个光源的光的多个光传送路径；以及具有来自这些多个光传送路径的光分别入射的多个光入射端和单一的光射出端的光纤路径。光纤路径具备多个光纤束，这些多个光纤束在入射端分别构成上述的多个光入射端，并且在射出端组合而构成上述的单一的光射出端。多个光纤构成多个光纤束。多个光纤束中的光纤在单一的光输出端相互均匀地分散配置。