[发明专利]可调谐温度受控的基板支撑组件

权利要求书

1.一种基板支撑组件，包含：

主体，所述主体具有基板支撑表面和下表面；

多个可调谐加热器，所述多个可调谐加热器设置在所述主体中；

控制器，所述控制器耦接至所述多个可调谐加热器，所述控制器配置成用于独立地控制所述多个可调谐加热器中的每一个可调谐加热器相对于所述多个可调谐加热器中的另一者的输出，其中所述控制器包含：

电控制器，其中，所述电控制器配置成用于单独地将可控功率提供至每一个可调谐加热器；以及

光学控制器，所述光学控制器连接至外部控制器，并且配置成用于将指令传输至所述电控制器以便向每一个可调谐加热器供电。

2.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述主体是静电夹盘。

3.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述控制器具有RF过滤器，所述RF过滤器将所述控制器与所述可调谐加热器隔离。

4.如权利要求3所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包含：

光纤接口，所述光纤接口将所述光学控制器耦接至所述电控制器，其中所述光学接口不经受电磁干扰或射频(RF)能量。

5.如权利要求4所述的基板支撑组件，其特征在于，所述光纤接口是光纤电缆。

6.如权利要求4所述的基板支撑组件，其特征在于，所述电控制器进一步包含：

光学转换器，所述光学转换器耦接至所述光学控制器，其中，所述光学转换器配置成用于从所述光学控制器提供信号，所述信号控制所述可调谐加热器的功能。

7.如权利要求4所述的基板支撑组件，其特征在于，所述电控制器通过调整每一个单独的可调谐加热器的功率参数来控制温度。

8.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述控制器在所述主体内部。

9.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述控制器在所述主体外部。

10.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述电控制器进一步包含：

多个开关，其中，每一个开关接受正极电力引线来控制单独的可调谐加热器。

11.如权利要求10所述的基板支撑组件，其特征在于，所述光学控制器经由至所述电控制器的光纤接口来管理所述开关。