[发明专利]一种抛光液性能连续实时调控装置

说明书

本发明公开了一种抛光液性能连续实时调控装置，包括粉料组分存储输送单元、液态组分存储输送单元、组分混合输出单元、控制及附件单元；所述的粉料组分存储输送单元和液态组分存储输送单元并列位于整个装置的上部，组分混合输出单元位于粉料组分存储输送单元、液态组分存储输送单元的下方，控制及附件单元位于整个装置的外围。本发明通过精密调速电机和精密传送蜗杆组合方式实现了粉料组分的定量添加，通过混合液输送管路与各液态组分完成混合，实现了含有粉料组分的混合液的配置。本发明通过控制系统实时掌握抛光液配置过程中的温度及流量信息，并根据所需抛光液性能指标(温度、配比、流量)对相关部件进行调控，具有较高的精度。

技术领域

本发明属于精密与超精密抛光技术领域，具体涉及一种抛光液性能连续实时调控装置。

背景技术

抛光液作为精密与超精密抛光中的重要组成部分，广泛应用于抛光各种难加工材料。抛光液性能的主要影响因素为：抛光液各组分配比、抛光液温度及流量。目前抛光液的配置大都依赖于人工操作，即按照加工需要的抛光液总量计算各组分含量，经称量、混合后获得。然而采用人工操作方式配置抛光液不仅费时费力具有明显的随机性和不确定性，而且对于抛光液温度的有效控制变得异常困难，造成抛光液性能的波动，影响抛光加工质量。此外，在精密与超精密抛光中，当需要对抛光液性能进行实时调整时，人工操作的方式就显得捉襟见肘，而且大幅增加了生产成本。

中国专利CN104258780A公开了《一种混合液浓度配制装置》，采用储液装置与溶液混合装置相结合的配置方式，各储液装置分别通过管路与溶液混合装置相连接，通过调节配置在各管路上的比例调节阀实现组分比例的改变，进而在溶液混合装置中获得不同配比的目标混合液。然而该装置中溶液混合腔室容积较大，在混合搅拌过程中容易导致混合液的大量累积，当需要配置另一种配比的溶液时，必须等待位于溶液混合腔中的现有混合液排空后才能进行新溶液的配置，这一延时特征使得不同配比混合液的连续实时供应难以实现。另一方面，该装置中的加热器仅设置在溶液混合腔室外壁，对混合液温度的调控速度及可靠性造成了制约。此外，该装置由于自身结构特点无法配置含有粉料组分的混合液。

发明内容

为了克服现有技术存在的上述问题，本发明要提出一种能够实现不同配比混合液的连续实时供应、实现混合液温度的精确控制、可配置含有粉料组分的混合液的抛光液性能连续实时调控装置。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种抛光液性能连续实时调控装置，包括粉料组分存储输送单元、液态组分存储输送单元、组分混合输出单元、控制及附件单元；所述的粉料组分存储输送单元和液态组分存储输送单元并列位于整个装置的上部，组分混合输出单元位于粉料组分存储输送单元、液态组分存储输送单元的下方，控制及附件单元位于整个装置的外围；

所述的粉料组分存储输送单元包括进料口甲、粉料存储罐、粉料搅拌桨、精密调速电机、粉料传送管、精密传送蜗杆和粉料输送管路；所述的进料口甲下方与粉料存储罐相连通，粉料存储罐内部安装有粉料搅拌桨，粉料存储罐下方与粉料传送管左端顶部相连，粉料传送管内部安装有精密传送蜗杆，精密传送蜗杆与精密调速电机相连，粉料传送管右端底部连接有粉料输送管路，粉料输送管路与混合液输送管路连接；

所述的液态组分存储输送单元包括进料口乙、进料口丙、溶液存储罐甲、溶液存储罐乙、液位计甲、温度计甲、液位计乙、温度计乙、溶液输送管路甲、溶液输送管路乙、流量计甲、电控伺服阀甲、流量计乙、电控伺服阀乙和过滤装置；所述的进料口乙和进料口丙下方分别与溶液存储罐甲和溶液存储罐乙相连通；溶液存储罐甲内部安装有液位计甲和温度计甲，溶液存储罐乙内部安装有液位计乙和温度计乙；溶液存储罐甲和溶液存储罐乙下方分别与溶液输送管路甲和溶液输送管路乙相连；溶液输送管路甲自上而下安装有流量计甲和电控伺服阀甲，溶液输送管路乙自上而下安装有流量计乙和电控伺服阀乙；在电控伺服阀甲和电控伺服阀乙的下方溶液输送管路甲和溶液输送管路乙完成汇聚，管路汇聚处安装有过滤装置，过滤装置的出口端与下方混合液输送管路连接；