[发明专利]处置对象分析装置、处理装置及处置对象分析方法

说明书

本发明涉及一种处置对象分析装置、处理装置和处置对象分析方法。处理装置包含：外壳，其经配置以形成处置目标对象的处置空间；台，其安置在所述外壳中且在台上面安装所述处置目标对象；光照射单元，其经配置以在所述台上照射光；检查单元，其单独地安置于所述台上且经配置以获得由所述光处理的所述处置目标对象的每一行的图像、每一区域的图像和光谱；以及处置单元，其连接到所述检查单元且经配置以使用每一行的所述图像、每一区域的所述图像和所述光谱确定所述经处理的处置目标对象的处置状态。

技术领域

本发明涉及一种处置对象分析装置、包含其的处理装置，以及处置对象分析方法，且更明确地说涉及一种能够容易地确定是否处置对象上发生不均缺陷或处置条件的适用性的处置对象分析装置、包含其的处理装置，以及处置对象分析方法。

背景技术

随着例如液晶显示装置等显示面板的增大，因为难以确保执行退火工艺时的均匀性，所以正提出各种替代方式且其中的一个是使用激光的退火方法。

换句话说，从激光照射器发射的激光束经由石英窗口发射以照射在显示面板上。此激光束以线型和帘幕型相对于显示面板垂直或稍微倾斜而照射。此外，激光束照射在显示面板的整个表面上，同时显示面板在相对于激光束的平面垂直或稍微倾斜的方向中水平地移动。

此时，当所照射激光束的长度、均匀性、能量等发生异常时，可能在退火工艺中在显示面板的表面上发生不均缺陷。举例来说，存在形成于垂直方向中的扫描不均和形成于水平方向中的曝光不均等，作为不均缺陷，所述不均可归因于不同原因而发生。归因于此不均缺陷，当在特定分级层级中显示整个屏幕时，特定区域可能非均匀地显示。

因此，已使用处置对象分析装置检查是否显示面板的表面上发生不均缺陷。换句话说，典型的处置对象分析装置通过使用相机实时获得显示面板图像、监视不均缺陷状态和分析关于其的数据来确定是否发生不均缺陷。

然而，难以仅使用图像来准确地确定是否发生不均缺陷，且当相机发生故障时，可停止不均缺陷监视。此可归因于确定是否发生不均缺陷和装置的维护而引起调度延迟，且处理效率降低。

[引证]

[专利文献]

专利文献1 KR10-2010-0033476 A

专利文献2 KR10-2007-0099216 A

发明内容

本发明提供一种能够容易地确定处置目标对象的处置期间是否发生不均缺陷的处置对象分析装置、包含其的处理装置，以及处置对象分析方法。

本发明还提供一种能够通过增加处置条件的适用性抑制和防止不均缺陷的发生的处置对象分析装置、包含其的处理装置，以及处置对象分析方法。

本发明提供一种能够改进效率和产率的处置对象分析装置、包含其的处理装置，以及处置对象分析方法。

根据示范性实施例，一种处置对象分析装置包含：第一检查单元，其单独地安置在处置目标对象上且经配置以俘获经处理的处置目标对象的每一行和每一区域的图像；第二检查单元，其单独地安置在处置目标对象上且经配置以在光谱中显示从经处理的处置目标对象反射的光的波长；以及处理单元，其连接到第一检查单元和第二检查单元且经配置以处理和分析所述图像和光谱且确定所述经处理处置目标对象的处置状态。

第一检查单元可包含：第一图像俘获单元，其经配置以在一个方向中俘获每一行的图像；以及第二图像俘获单元，其经配置以在与所述一个方向交叉的方向上俘获每一区域的图像，其中所述第一图像俘获单元和所述第二图像俘获单元的图像俘获区域彼此区分。