[实用新型]蓝宝石单晶炉的电气控制系统有效

专利信息
申请号: 201621007834.6 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN206418220U 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 毛洪英;江世成;樊传宁 申请(专利权)人: 南京晶升能源设备有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B17/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 代理人: 李昊
地址: 210000 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 蓝宝石 单晶炉 电气 控制系统
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石单晶炉的电气控制系统,尤其是一种用于蓝宝石单晶炉的电气控制系统,能够实现蓝宝石炉的全自动长晶的电气控制系统。

背景技术

随着全球新能源市场的迅速发展,LED产业逐渐成为能源工业新的增长点,已经具备了赶超其他节能产业的能力,在世界范围内呈现迅猛发展之势。

蓝宝石单晶炉是LED产业链中重要的晶体生长设备,该设备通过高温将坩埚中的三氧化二铝原料熔化,并重新结晶形成单晶体。因此能够直观显示长晶工艺流程的全自动蓝宝石电气控制系统直接决定了晶体生长周期及品质,同时,该系统也降低了设备对长晶人员的依赖。传统的蓝宝石单晶炉由于采用靠人的直接观察进行相关的调节,使得设备对操作人员的依赖很大,同时对长晶人员的大量需求。

发明内容

发明目的本实用新型的目的在于:针对现有蓝宝石长晶炉对操作人员的依赖,效率低等缺点,提供一种新型可靠的能够直观显示长晶工艺流程的全自动蓝宝石电气控制系统。

技术方案:本发明所述的一种用于蓝宝石电气控制系统,包括显示器、中央处理单元、影像采集系统、输入/输出控制模块和电源系统;所述中央处理单元包括通讯模块、计算机和可编程控制器;所述显示器、影像采集系统和电源系统通过中央处理单元相连;所述的可编程控制器与输入/输出控制模块相连,输入/输出控制模块包括运动控制模块、蓝宝石晶体生长速度控制模块。

所述蓝宝石晶体生长速度控制模块与炉内温度模块、保护气体模块和冷却水模块相连接。

所述运动控制模块包括旋转模块和提拉模块。

所述运动控制模块与蓝宝石晶体生长速度控制模块相连接。

所述旋转模块转速为0.02rmb-30rmb、提拉模块的速度为0.01mm/h-5400mm/h。

所述显示器为工业显示器。

所述影像采集系统为CCD影像采集系统。

本发明与现有技术相比,其有益效果是:采用上述结构后,操作人员可以通过显示器设置蓝宝石长晶炉生长所需的参数。在蓝宝石晶体引晶过程中,CCD影像采集系统实时监测炉内的晶体生长状态,称重系统时刻记录晶体重量,并将数据通过通讯模块传给中央控制系统,中央控制系统根据情况来调整炉内温度、旋转提拉速度等参数。整个系统采用模块化设计,系统结构简单,运行稳定可靠,可以对蓝宝石晶体生长过程实现全程监控,并自动调节蓝宝石晶体生长所需要的工艺参数。

附图说明

图1为本实用新型的蓝宝石单晶炉电气控制系统结构示意图。

具体实施方式

下面对本发明技术方案进行详细说明,但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。

实施例1:

如图1所示的蓝宝石电气控制系统,包括显示器5、中央处理单元1、影像采集系统6、输入/输出控制模块8和电源系统7,所述中央处理单元1包括通讯模块3、计算机2和可编程控制器4;所述显示器5、影像采集系统6和电源系统7通过中央处理单元1相连;所述的可编程控制器4与输入/输出控制模块8相连,输入/输出控制模块8包括运动控制模块9、蓝宝石晶体生长速度控制模块10。本发明方案采用模块化设计,各模块之间功能分配明了,由中央处理单元1进行总体的协调控制。

所述蓝宝石晶体生长速度控制模块10与炉内温度模块、保护气体模块和冷却水模块相连接。

所述运动控制模块9与蓝宝石晶体生长速度控制模块相连接10。

所述影像采集系统6为CCD影像采集系统,可以实时监测炉内的晶体生长状态。

在蓝宝石晶体引晶过程中,通过CCD影像采集系统实时监测炉内的晶体生长状态,通过称重系统时刻记录晶体重量,并将数据通过通讯模块3传给中央处理单元1,中央处理单元1通过输入输出控制模块8根据情况来调整炉内温度、旋转提拉速度等参数,并自动调节蓝宝石晶体生长所需要的工艺参数,从而达到满足晶体生长所需的各项参数指标。

当然,蓝宝石晶体生长速度控制模块10所连接的控制器可以更多,可以是其它与蓝宝石晶体生长参数所相关的控制器,这样的变换均落在本发明保护的范围之内。

如上所述,尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本发明,但其不得解释为对本发明自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本发明的精神和范围前提下,可对其在形式上和细节上作出各种变化。

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