[实用新型]一种测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪

权利要求书

1.一种测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，包括光源、拉曼信号采集装置、拉曼光谱分析装置，其特征在于，所述的拉曼信号采集装置包括沿光路依次设置的半透半反镜、微透镜阵列、聚焦透镜、成像光纤束、显微系统、位移扫描控制机构，待测样品位于显微系统后端的位移扫描控制机构上，显微系统将光源发射的光聚焦在待测样品上以产生拉曼信号；所述的拉曼光谱分析装置包括半透半反镜后端依次设置的成像透镜、出射狭缝、光谱仪，由待测样品散射的拉曼信号经半透半反镜反射后，通过成像透镜、出射狭缝进入光谱仪进行光谱分析。

2.根据权利要求1所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的光源与半透半反镜之间依次设有整形透镜、入射狭缝、准直透镜，整形透镜与准直透镜同光轴设置，且整形透镜与准直透镜均设置在以入射狭缝为焦平面、焦点在入射狭缝的中心位置上。

3.根据权利要求1或2所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的光谱仪为多通道光纤光谱仪。

4.根据权利要求3所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的多通道光纤光谱仪的光线阵列间距小于所述的拉曼信号阵列间距。

5.根据权利要求4所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的多通道光纤光谱仪的光纤阵列间距小于所述的拉曼信号阵列间距的1/3。

6.根据权利要求1或2所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的光谱仪的响应波长带宽为50nm。

7.根据权利要求1或2所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的光谱仪连接有数据处理装置。

8.根据权利要求1或2所述的测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，其特征在于，所述的光源为激光光源，激光光源发射的激光波长为532nm、514nm、635nm、785nm中的一种。