[发明专利]一种空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管在审
申请号: | 201611195894.X | 申请日: | 2016-12-22 |
公开(公告)号: | CN106601583A | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 杨丽珍;刘忠伟;陈强 | 申请(专利权)人: | 北京印刷学院 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/26 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 102600 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空间 聚焦 圆锥形 高场非 对称 波形 离子 迁移 | ||
1.一种空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:包括有依次排列且同轴设置的气体入口(1)、离子源(3)、圆锥形分离电极対、屏蔽电极(8)、法拉第盘检测电极对和气体出口(11);所述圆锥形分离电极对包括内电极(5)、外电极(6),内电极(5)为圆锥形且与外电极(6)相互平行,内电极(5)靠近离子源(3)的一端为锥底、靠近法拉第盘检测电极对的一端为锥尖;所述法拉第盘检测电极对包括有两个法拉第盘检测电极(9);所述气体入口(1)设置在离子源(3)的前端,气体出口(11)设置在法拉第盘检测电极对的后端,屏蔽电极(8)设置在圆锥形分离电极对与法拉第盘检测电极对之间。
2.如权利要求1所述的空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:所述内电极(5)的锥尖在轴线所在平面的投影夹角(12)在0到180°之间。
3.如权利要求1或2所述的空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:所述内电极(5)与外电极(6)的间距在0到1cm之间。
4.如权利要求3所述的空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:所述圆锥形分离电极対中,一电极通过导线与高场非对称性射频电源和补偿电源相连,另一电极通过导线与地相连。
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