[发明专利]一种空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管在审

专利信息
申请号: 201611195894.X 申请日: 2016-12-22
公开(公告)号: CN106601583A 公开(公告)日: 2017-04-26
发明(设计)人: 杨丽珍;刘忠伟;陈强 申请(专利权)人: 北京印刷学院
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/26
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 代理人: 余成俊
地址: 102600 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 空间 聚焦 圆锥形 高场非 对称 波形 离子 迁移
【权利要求书】:

1.一种空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:包括有依次排列且同轴设置的气体入口(1)、离子源(3)、圆锥形分离电极対、屏蔽电极(8)、法拉第盘检测电极对和气体出口(11);所述圆锥形分离电极对包括内电极(5)、外电极(6),内电极(5)为圆锥形且与外电极(6)相互平行,内电极(5)靠近离子源(3)的一端为锥底、靠近法拉第盘检测电极对的一端为锥尖;所述法拉第盘检测电极对包括有两个法拉第盘检测电极(9);所述气体入口(1)设置在离子源(3)的前端,气体出口(11)设置在法拉第盘检测电极对的后端,屏蔽电极(8)设置在圆锥形分离电极对与法拉第盘检测电极对之间。

2.如权利要求1所述的空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:所述内电极(5)的锥尖在轴线所在平面的投影夹角(12)在0到180°之间。

3.如权利要求1或2所述的空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:所述内电极(5)与外电极(6)的间距在0到1cm之间。

4.如权利要求3所述的空间聚焦的圆锥形高场非对称波形离子迁移管,其特征在于:所述圆锥形分离电极対中,一电极通过导线与高场非对称性射频电源和补偿电源相连,另一电极通过导线与地相连。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京印刷学院,未经北京印刷学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611195894.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top