[发明专利]转印装置及转印方法

说明书

本发明提供一种辊构件能够以均匀且稳定的按压力按压板状体的转印装置及转印方法。与橡皮布(BL)相抵接并按压基板(SB)的转印辊(431)，其两端部被一对支撑部(430)支撑为旋转自如。用于支撑转印辊(431)的旋转轴的支撑L形构件(4334)被直动导向件(4332、4333)支撑为升降自如，由施力部(434)对该支撑L形构件(4334)施加向上的力。因施加力引起的支撑L形构件(4334)的位移通过限位器(435)抑制于规定高度，由此管理转印辊(431)从下方接近橡皮布(BL)时的转印辊(431)的姿势(旋转轴的倾斜)。当橡皮布(BL)按压基板(SB)时，限位器(435)的抑制被解除，通过施加力向橡皮布(BL)施加恒定的按压力。

技术领域

本发明涉及一种将两个板状体抵接而使被转印物从一板状体向另一板状体转印的转印技术。

背景技术

作为在玻璃基板或者半导体基板等板状体上形成图案或者薄膜的技术，有一种将两个板状体彼此抵接而将承载于一板状体的主表面的图案或者薄膜等被转印物转印到另一板状体的技术。其中一个方法是，利用辊(roller)等，对中间夹有被转印物且接近地对置的两个板状体中的一板状体进行按压，使两个板状体紧贴而转印被转印物的方法(例如，参照专利文献1)。该技术中，一边利用两端被支撑为旋转自如的辊构件来按压板状体，一边沿着板状体移动辊构件，由此在板状体之间作用按压力使其紧贴。

由于这种转印技术与印刷技术类似，因此可以应用印刷技术的技术思想的情况很多。例如，在上述现有技术中，为了将辊的按压力控制在适当值，可以考虑适用专利文献2所记载的印刷技术。该技术中，为了将印刷用印版和橡皮布辊(blanket roll)以适当的接触压力进行抵接，橡皮布辊相对水平的印版台升降自如地设置，橡皮布辊向印版台侧施力。而且，橡皮布辊以较小的接触压力与印版端部的空白部分相抵接后，进行压力的检测和橡皮布辊的高度调整，从而控制橡皮布辊与印版的印刷图案区域相抵接时的压力。

该技术中，由于橡皮布辊向印版方向施力，因此即使在印版表面存在起伏的情况下，橡皮布辊也能够追随起伏上下移动，从而能够抑制按压力的变动。这种功能预计在上述的转印技术中也是有效的。

专利文献1：日本特开2014-184716号公报

专利文献2：日本特开2010-280085号公报

但是，例如在以制造电子器件为目的的转印技术中，所要求的转印位置精度通常比印刷技术中的精度更高。因此，有时不适合将印刷技术简单地直接转用。例如，从本申请人先前公开的专利文献1中记载的转印技术可知，两个板状体在最初相抵接时的错位会对整个转印位置精度产生很大的影响。此外，还可知，为防止由不均匀的按压引起的转印不良和错位，需要保持辊构件最初与板状体相抵接时的辊构件和板状体的平行度。对于这些目的，如上所述那样将两个物体抵接后调整压力的技术不一定适用。

这样，在专利文献1记载的将两个板状体紧贴并利用辊构件按压的转印技术中，为进一步提高转印性能，需要更均匀且更稳定地进行辊构件对板状体的按压。但是，存在能够对其进行应对的技术没有完全确定的问题。

发明内容

本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于，在用辊构件进行按压而使两个板状体抵接的转印装置及转印方法中，提供一种辊构件能够以均匀且稳定的按压力按压板状体的技术。

为实现上述目的，本发明的转印装置的一实施方式包括：第一保持单元，将第一板状体以下部面开放的状态且以水平姿势保持；第二保持单元，以保持第二板状体的周缘部，并且上述第二板状体的上部面与上述第一板状体接近地对置的状态，且以上述第二板状体的下部面中的在上部面侧与上述第一板状体对置的中央部开放的状态，保持上述第二板状体；以及按压单元，顶起上述第二板状体的上述中央部，使上述第二板状体按压于上述第一板状体。