[发明专利]预倾角测定装置及预倾角测定方法有效
申请号: | 201611166680.X | 申请日: | 2016-12-16 |
公开(公告)号: | CN106918308B | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 杉田一宏;稻野大辅;今坂真子 | 申请(专利权)人: | 大塚电子株式会社 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G02F1/13 |
代理公司: | 北京瑞盟知识产权代理有限公司 11300 | 代理人: | 刘昕 |
地址: | 日本国大阪府枚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倾角 测定 装置 方法 | ||
1.一种预倾角测定装置,其特征在于,具备:
第一投光部,其向液晶基板的测定位置照射已偏振的测定光;
第一受光部,其接收所述测定光的透射光,获取所述透射光的偏振状态;
第二投光部,其向所述液晶基板的所述测定位置照射倾斜检测用光;
第二受光部,其接收所述倾斜检测用光的反射光,获取所述反射光的受光位置;
倾角计算部,其根据所述反射光的受光位置,算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角;以及
预倾角计算部,其根据所述测定光的照射角度、所述液晶基板的所述测定位置的倾角和所述透射光的偏振状态,算出所述液晶基板中所含的液晶分子的预倾角。
2.根据权利要求1所述的预倾角测定装置,其特征在于,还具备:
反射镜,其向所述液晶基板反射来自所述第二投光部的所述倾斜检测用光,向所述第二受光部反射来自所述液晶基板的所述反射光。
3.根据权利要求1所述的预倾角测定装置,其特征在于,
所述第二受光部在至所述液晶基板的距离不同的多个位置处接收所述反射光,
所述倾角计算部根据在所述多个位置的各位置处接收到的所述反射光的受光位置,算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角。
4.根据权利要求1所述的预倾角测定装置,其特征在于,
所述第二受光部在相对于所述液晶基板的角度不同的多个位置处接收所述反射光,
所述倾角计算部根据在所述多个位置的各位置处接收到的所述反射光的受光位置,算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角。
5.根据权利要求1所述的预倾角测定装置,其特征在于,
进一步具备相交角度获取部:其获取包含所述第一投光部、所述第一受光部和所述测定位置的第一面与包含所述第二投光部、所述第二受光部和所述测定位置的第二面的相交角度,
所述倾角计算部根据所述相交角度,算出所述第一面内的所述液晶基板的所述测定位置的倾角。
6.一种预倾角测定方法,其特征在于,包括以下步骤:
向液晶基板的测定位置照射已偏振的测定光;
接收所述测定光的透射光,获取所述透射光的偏振状态;
向所述液晶基板的所述测定位置照射倾斜检测用光;
接收所述倾斜检测用光的反射光,获取所述反射光的受光位置;
根据所述反射光的受光位置,算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角;以及
根据所述测定光的照射角度、所述液晶基板的所述测定位置的倾角和所述透射光的偏振状态,算出所述液晶基板中所含的液晶分子的预倾角。
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