[发明专利]涂布器清洗装置和涂布装置

说明书

提供涂布器清洗装置和涂布装置，抑制在涂布器中产生因热变形而导致的变形。涂布器清洗装置对涂布器进行清洗，涂布器从沿一个方向延伸的缝喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，涂布器清洗装置具有：清洗槽，其是以能够浸渍涂布器的缝喷嘴的方式沿一个方向延伸的形状；清洗液提供部，其向清洗槽提供清洗液；以及振子，其对清洗槽内的清洗液施加振动波，清洗液提供部在长度方向上对清洗槽内提供清洗液，并且清洗液的提供量被设定为与清洗槽的长度方向两端部相比在中央部分多，清洗槽具有使清洗液排出到长度方向两端部的溢流部，构成为在使缝喷嘴浸渍在清洗槽中的状态下，清洗槽内的清洗液的流动从长度方向中央部分朝向溢流部流动。

技术领域

本发明涉及涂布器清洗装置和涂布装置，其中，该涂布器清洗装置用于对喷出涂布液的涂布器进行清洗，该涂布装置具有该涂布器清洗装置。

背景技术

在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用在玻璃等基板上涂布有抗蚀液等涂布液的基板(称为涂布基板)。通过均匀地涂布涂布液的涂布装置来形成该涂布基板。涂布装置具有对基板进行载置的载台和向载置的基板喷出涂布液的涂布单元，该涂布装置一边从涂布单元的涂布器喷出涂布液，一边使基板与涂布器相对移动，由此，在基板上形成涂布膜。

在该涂布器上，在与基板相对的基板相对面上形成有缝喷嘴，能够在缝喷嘴的长度方向上均匀地喷出涂布液。然而，当在缝喷嘴上附着有涂布液完全干燥后的干燥残留液和异物(统称为异物等)的状态下，涂布液的喷出状态因该异物等而不均匀化，成为在涂布膜上形成条纹不匀等干燥不匀的原因。因此，为了保持涂布膜的均匀性而通过涂布器清洗装置对这样的管口部进行定期地清洗(例如参照专利文献1)。

如图4所示，该涂布器106清洗装置具有：清洗槽100，其形状为沿一个方向延伸并对有机溶剂的清洗液进行贮存；清洗液提供部101，其向清洗槽100提供清洗液；以及振子102，其对清洗槽100内的清洗液施加超声波振动，能够在使缝喷嘴103浸渍在清洗槽100中的状态下通过施加超声波振动而将附着在缝喷嘴103上的异物等去除。并且，在清洗槽100中，在清洗液提供部101的长度方向相反侧设置有溢流部104，使因异物等的去除而受到污染的清洗液循环流向溢流槽105，并始终从清洗液提供部101流入干净的清洗液，由此，能够维持一定的清洗效果。并且，根据情况，通过使清洗液从缝喷嘴103进入而在涂布器106内循环，也能够进行涂布器106内的清洗。由此，涂布器106的清洗作业不用通过手动作业来进行，能够自动地进行。

专利文献1：日本特开2004-314048号公报

然而，在以往的涂布器清洗装置中，存在如下问题：涂布器106因清洗液中产生的热量而发生热变形，从而对涂布膜的品质造成影响。即，由于对清洗槽100的清洗液施加超声波振动，所以从清洗液提供部101提供的清洗液的温度上升。并且，从清洗液提供部101提供的清洗液在长度方向上朝向溢流槽105流动，因此清洗槽100内的清洗液一边流向溢流槽105侧一边温度逐渐上升，温度较高的清洗液集中在溢流槽105附近。即，在清洗槽100内的清洗液中形成温度从清洗液提供部101朝向溢流槽105上升的温度分布。

当在清洗液中形成温度分布时，浸渍在清洗液中的涂布器106在长度方向上产生温度差，由此，缝喷嘴103的开口状态(开口宽度)在长度方向上变得不均匀。因此，存在如下问题：狭缝喷嘴103的吐出喷出状态变得不稳定，对形成在基板上的涂布膜的品质造成影响。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供涂布器清洗装置和涂布装置，能够抑制因与清洗液的温度上升相伴的温度差而在涂布器中产生因热变形而导致的变形。