[发明专利]涂布器清洗装置和涂布装置

权利要求书

1.一种涂布器清洗装置，其对涂布器进行清洗，该涂布器一边在基板上扫描，一边从形成在基板相对面上的沿一个方向延伸的缝喷嘴喷出涂布液，从而在基板上形成涂布膜，该涂布器清洗装置的特征在于，

其具有：

清洗槽，其是以能够浸渍所述涂布器的缝喷嘴的方式沿一个方向延伸的形状；

清洗液提供部，其向所述清洗槽提供清洗液；以及

振子，其对所述清洗槽内的清洗液施加振动波，

所述清洗液提供部在长度方向上对清洗槽内提供清洗液，并且清洗液的提供量被设定为与所述清洗槽的长度方向两端部相比在中央部分多，

所述清洗槽具有使清洗液排出到长度方向两端部的溢流部，

在使所述缝喷嘴浸渍在所述清洗槽中的状态下，所述清洗槽内的清洗液的流动形成为从长度方向中央部分分别朝向两端部的溢流部流动，与在所述清洗槽内从长度方向一端提供清洗液并从另一端排出的情况相比，能够减小清洗液相对于所述缝喷嘴流动的距离。

2.根据权利要求1所述的涂布器清洗装置，其特征在于，

所述清洗液提供部具有沿着所述清洗槽的长度方向配置的清洗液提供配管，该清洗液提供配管形成有喷出清洗液的多个清洗液提供孔，所述清洗液提供孔被配置成在所述清洗槽的长度方向两端部疏而在中央部分密。

3.根据权利要求2所述的涂布器清洗装置，其特征在于，

在所述清洗槽的底面上，在长度方向上配置有所述振子，所述清洗液提供孔按照朝向所述振子喷出清洗液的方向开口。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的涂布器清洗装置，其特征在于，

所述清洗槽的溢流部具有清洗槽的长度方向两端部的侧壁比其他的侧壁在高度方向上低的切口部。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的涂布器清洗装置，其特征在于，

在所述清洗槽上设置有密封壁，该密封壁沿着长度方向与所述基板相对面接触，从而防止清洗槽的清洗液飞散。

6.根据权利要求4所述的涂布器清洗装置，其特征在于，

在所述清洗槽上设置有密封壁，该密封壁沿着长度方向与所述基板相对面接触，从而防止清洗槽的清洗液飞散。

7.一种涂布装置，其具有权利要求1～6中的任意一项所述的涂布器清洗装置，

该涂布装置具有：

载台，其对基板进行载置；以及

涂布器，其从缝喷嘴向载台上的基板喷出涂布液，

该涂布装置一边使载台上所载置的基板与所述涂布器相对移动，一边从所述涂布器喷出涂布液，从而在基板上形成涂布膜。