[发明专利]真空泵及在其中使用的分割静翼部

说明书

本发明提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵。真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部（11A、11B）相互在圆周方向端部（12a、12a）上抵接而构成为环状；在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。

技术领域

本发明涉及被作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他腔室的气体排气机构等利用的真空泵及在其中使用的分割静翼部，特别地，涉及通过有效地防止分割静翼部的抵接不良而能够得到良好的排气性能的结构。

背景技术

这种以往的真空泵例如在专利文献1中公开。该文献1的真空泵具备由旋转的动翼部（6）和固定的静翼部（70）将气体移送的涡轮分子部。

并且，该文献1的真空泵的前述静翼部（70）如在该文献1的图3或图4等中公开的那样，通过使两个分割静翼部（70A、70B）抵接而被设定为环状。

此外，各个分割静翼部（70A、70B）具备内外的轮缘（72a、72b、73a、73b）、和被该内外的轮缘支承的多个定子翼（71），并且使该内侧的轮缘（72a、72b）的圆周方向端部抵接。

参照专利文献1的图12，在该文献1的真空泵中，作为前述分割静翼部（70A、70B）的具体的分割静翼部抵接构造，如本申请的图19的（a）、图19的（b）所示，采用在使两个分割静翼部（70A、70B）抵接的状态下、各个分割静翼部（70A、70B）的圆周方向端部彼此对置的构造。此外，设有在与对置的另一个轮缘之间形成空隙的缺口（S），防止由因加工时的离差而分割静翼部的圆周长变得比设计尺寸长造成的圆周方向端部的重叠或翘曲。进而，在对置的内外轮缘的另一个圆周方向端部设有弯折部（72b3），采用该弯折部（72b3）的正面侧与对置的另一个前述圆周方向端部（72a1）抵接的构造。

但是，由于前述那样的弯折部（72b3）是通过压力下的弯折加工形成的，所以该弯折部（72b3）的根部附近外表面如本申请的图19的（a）（b）所示那样为圆弧面SF。因此，当使两个分割静翼部（70A、70B）抵接时，一方的圆周方向端部在与弯折部（72b3）的根部附近外表面（圆弧面SF）抵接后，在圆弧面SF上打滑而如本申请的图19的（b）那样潜入到另一方的圆周方向端部的下方。因而，如前面说明的专利文献1的抵接构造那样，在仅设有弯折部（72b3）的结构中，不能有效地防止因圆周方向端部的重叠造成的分割静翼部的抵接不良。如果发生这样的圆周方向端部的重叠，则预先以适于排气的角度设定的定子翼（71）的倾斜角度变化，作为真空泵的排气性能下降，不能得到良好的排气性能。

进而，如果参照专利文献1的图11，则在该文献1中，作为具体的分割静翼部抵接构造，如本申请的图20的（a）、图20的（b）所示，还公开了在对置的双方的圆周方向端部上设置弯折部（72a3、72b3）、这些弯折部（72a3、72b3）的正面侧相互抵接的构造。

但是，由于前述那样的弯折部（72a3、72b3）是通过压力下的弯折加工形成的，所以不能避免在弯折部（72a3、72b3）上发生图20的（a）那样的弯曲的恢复。因此，在如前述那样弯折部（72a3、72b3）的正面侧相互抵接的构造中，由于在弯折部（72a3、72b3）上发生的弯曲的恢复，还可能发生以下状况：如图20的（a）那样使两个分割静翼部（70A、70B）实际抵接时的抵接尺寸位置（以下称作“实际的抵接尺寸位置”）超过设计上的抵接尺寸位置的容许误差范围。在此情况下，通过使两个分割静翼部（70A、70B）抵接，当弯折部（72a3、72b3）的正面侧相互抵接时，在其抵接部产生设想外的反作用力，会发生某一方或双方的分割静翼部（70A、70B）翘曲等抵接不良，预先以适于排气的角度设定的定子翼（71）的倾斜角度变化，所以作为真空泵的排气性能下降，有可能无法得到良好的排气性能。