[发明专利]真空泵及在其中使用的分割静翼部

权利要求书

1.一种真空泵，所述真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状，其特征在于，

在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造，

前述抵接不良防止构造在第1前述分割静翼部的圆周方向端部具备第1弯折部，

前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线相对于前述静翼部的半径方向呈大于0度的既定角度的方向弯折，至少该第1弯折部的宽度方向侧部与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述既定角度为90度。

3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造还在第2前述分割静翼部的圆周方向端部具备第2弯折部，该第2弯折部的至少一部分与前述第1弯折部抵接。

4.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部的宽度方向侧部与前述第1弯折部抵接。

5.如权利要求3或4所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部和前述第2弯折部设在能够进行其宽度方向侧部彼此的抵接的位置。

6.如权利要求1～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造具备将使两个以上的前述分割静翼部抵接的状态下的前述分割静翼部的厚度方向的位置偏差矫正的偏差矫正机构。

7.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造在前述分割静翼部的圆周方向端部具备偏差/重叠防止机构，所述偏差/重叠防止机构防止与其他的前述分割静翼部的偏差或重叠。

8.一种真空泵，所述真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状，其特征在于，

在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造，

前述抵接不良防止构造在第1前述分割静翼部的圆周方向端部具备第1弯折部，

前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向平行的方向弯折，并且以弯曲角度成为不到90度的锐角的方式弯折，并且该第1弯折部的根部附近外表面与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

9.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，

在第2前述分割静翼部的圆周方向端部设有第2弯折部，该第2弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向平行的方向弯折，并且该第2弯折部的根部附近外表面与前述第1弯折部的根部附近外表面抵接。

10.如权利要求9所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部被弯折以使弯曲角度成为不到90度的锐角，至少该第2弯折部的前述根部附近外表面与前述第1弯折部的根部附近外表面抵接。

11.如权利要求8~10中任意一项所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部的前述根部附近外表面形成为平坦的面。

12.如权利要求9或10所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部的前述根部附近外表面形成为平坦的面。