[发明专利]用以形成作为皮秒激光加工的保护层的溶液与其制造方法

权利要求书

1.一种用以形成作为皮秒激光加工的保护层的溶液，其特征在于，该溶液包括：

一水溶性树脂；以及

一溶剂，

其中该溶剂包括水与一有机溶剂，且该溶液的固含量的重量比例为0.5％以上且小于3％。

2.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，该溶液的固含量的重量比例为0.5％～2.5％。

3.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，水与该有机溶剂的重量比为3～17。

4.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，该有机溶剂包括异丙醇、丙二醇单甲基醚醋酸酯、丙二醇单甲基醚、碳酸丁烯酯、碳酸丙烯酯、丙三醇碳酸酯与碳酸乙烯酯至少其中之一。

5.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，该水溶性树脂包括聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、具有五个或更多氧乙烯重复单元的聚乙二醇、聚氧乙烯、甲基纤维素、乙基纤维素、羟丙纤维素、聚丙烯酸、聚乙烯醇-聚丙烯酸嵌段聚合物、聚乙烯醇-聚丙烯酸酯嵌段聚合物或聚甘油。

6.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，更包括一水溶性激光吸收剂，其中该水溶性激光吸收剂包括一水溶性染料、一水溶性色素与一水溶性紫外线吸收剂至少之一。

7.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，该水溶性树脂的重量平均分子量为900,000～1,500,000。

8.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，该保护层的厚度为0.005～0.65微米。

9.根据权利要求1所述的溶液，其特征在于，该皮秒激光加工的脉冲激光的脉冲长度为1皮秒～999皮秒。

10.一种用以形成作为晶圆皮秒激光加工的保护层的溶液的制造方法，包括混合一水溶性树脂以及一溶剂，其特征在于，该溶剂包括水与一有机溶剂，且该溶液的固含量的重量比例为0.5％以上且小于3％。