[发明专利]流体可渗透的阳极氧化膜及用阳极氧化膜的流体可渗透体

说明书

一种流体可渗透的阳极氧化膜，其包括通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙，以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔。还提供了利用流体可渗透的阳极氧化膜的流体可渗透体。

技术领域

本发明涉及具有渗透孔的流体可渗透的阳极氧化膜，以及利用阳极氧化膜的流体可渗透体。

背景技术

一般地，流体可渗透的膜用于流体(气体或液体)的分离、净化、过滤、分析、反应、扩散等目的。特别地，阳极氧化膜可用作为流体可渗透的膜，其制造成本低并且具有多个孔隙。

通过阳极氧化基础金属形成的阳极氧化膜包括具有形成在其表面上的多个孔隙的多孔层。本文所指的基础金属可为铝(Al)、钛、(Ti)、钨(W)、锌(Zn)等。然而，重量轻、容易加工、热导率优异并且没有重金属污染的铝或铝合金被广泛地用作基础金属。

如图1所示，由阳极氧化金属制造的现有技术的流体可渗透阳极氧化膜公开于美国专利No.8,210,360中。

在现有技术的阳极氧化膜中，形成在阳极氧化膜中的孔隙的内部宽度落于约几纳米到300纳米的范围内。由于孔隙的内部宽度太小，所以孔隙容易被包含在渗透过阳极氧化膜的流体中的外来材料堵塞。这造成流体不能够容易地渗透过阳极氧化膜的问题。

为了改善由阳极氧化膜的孔隙的小直径造成的问题，可设想使用扩大阳极氧化膜的孔隙的方法。然而，由于孔隙的内部宽度在纳米的量级，所以难以扩大孔隙。另外，存在由于孔隙的扩大而显著地减小阳极氧化膜的结构强度的缺陷。

流体(气体或液体)可穿过的流体穿过构件用于流体的扩散、分离、净化、过滤、分析、反应等目的。

一般地，多个通孔形成在流体穿过构件中以使得流体可穿过通孔。为了使在穿过流体穿过构件之后流体被均匀地扩散，优选的是增加通孔的数量同时减小通孔的内部宽度。然而，在减小通孔的内部宽度时涉及诸多困难。

作为上面提及的流体穿过构件的示例，存在着这样一种扩散器(喷头)，其用于均匀地将气体朝向容纳在用于制造液晶显示器(LCD)的真空室内的玻璃注射。液晶显示器(LCD)是一种不发光元件，其通过在阵列基板和彩色滤光片基板之间填充液晶而形成并配置成使用液晶的特性获得图像效果。阵列基板和彩色滤光片基板中的每一个通过以下过程制造：在由玻璃等制成的玻璃透明玻璃上反复地沉积膜的过程，和图案化并蚀刻这样地经沉积的膜的过程。当通过将反应剂和原材料在气态下引入到真空室而执行沉积过程时，这样地引入的气体穿过扩散器(喷头)并且沉积在安装在基座的上表面上的玻璃，从而形成膜。

作为流体穿过构件的现有技术的扩散器(喷头)公开于韩国专利注册No.0653442中。

如图8所示，通过引入部18引入的反应气体穿(渗透)过扩散器15。反应气体朝向安装在基座S上的玻璃注射。

然而，存在这样的问题：不能通过形成在现有技术的扩散器中的孔均匀地朝向玻璃注射反应气体。为了改善这个问题，可设想减小孔的内部宽度并且增加孔的数量。然而，在制造现有技术的扩散器方面存在限制。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种流体可渗透的阳极氧化膜和使用能够改善流体的扩散均匀性的阳极氧化膜的流体可渗透体，所述阳极氧化膜能够使得流体能够渗透并均匀扩散、保持结构强度并且促进其制造。

根据本发明的一个方面，提供一种流体可渗透的阳极氧化膜，其包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙；以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔。

渗透孔的内部宽度从流体可渗透的阳极氧化膜的一端到流体可渗透的阳极氧化膜的另一端可保持恒定。

孔隙可定位在渗透孔之间。