[发明专利]一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室有效
| 申请号： | 201610130407.5 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105632876B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 孙安;范义奎;张力平 | 申请（专利权）人： | 江苏德佐电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/02 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 210034 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 负离子 气体 碰撞 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其特征在于：包括腔室本体(1)；所述腔室本体(1)上设有反冲离子探测口(2)、电子探测口(3)、分子泵安装口(4)、注气针阀安装口(5)、系统连接口(6)、进气口(7)、真空规接口(8)和飞行时间谱仪检测口(9)；所述分子泵安装口(4)开设于所述腔室本体(1)的下侧；所述注气针阀安装口(5)、飞行时间谱仪检测口(9)均开设于所述腔室本体(1)的上侧；所述注气针阀安装口(5)和分子泵安装口(4)设置于同一竖直轴线上；所述飞行时间谱仪检测口(9)位于注气针阀安装口(5)的侧面。
2.根据权利要求1所述的一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其特征在于：所述飞行时间谱仪检测口(9)设有两个；沿着腔室本体(1)的流道方向，两个飞行时间谱仪检测口(9)分别位于所述注气针阀安装口(5)的前、后两侧。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其特征在于：所述系统连接口(6)贯穿所述腔室本体(1)形成竖直平面上的法向流道。
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