[发明专利]一种激光直写氧化铝基板材料形成图形化铝导电层的方法

权利要求书

1.一种激光直写氧化铝基板材料形成图形化铝导电层的方法，其特征在于：包括以下 步骤：

（1）、选取氧化铝基板作为辐射样品，辐射前对氧化铝基板进行清洗，干燥；

（2）、设置激光光路系统，将氧化铝基板固定在激光光路系统的工作台上；

（3）、利用激光光源辐射氧化铝基板，并采用满足图案化铝导电层要求的扫描工艺使激 光光源沿所需轨迹扫描氧化铝基板，在氧化铝基板上获得所需要的图案化铝导电层。

2.根据权利要求1所述的一种激光直写氧化铝基板材料形成图形化铝导电层的方法， 其特征在于：所述氧化铝基板包含氧化铝单晶基板和氧化铝陶瓷基板。

3.根据权利要求1所述的一种激光直写氧化铝基板材料形成图形化铝导电层的方法， 其特征在于：步骤（3）中，满足图案化铝导电层要求的扫描工艺可通过控制工作台移动，或 者通过在激光光源前加设光学元件来实现。