[发明专利]传感器模块和传感器模块的制造方法

说明书

本发明涉及传感器模块和传感器模块的制造方法。具备在隔板部的平面部涂敷流动性的导电材料而形成的检测部，检测部具有：电阻元件（3）；电阻元件用电极（4），以使位于电阻元件（3）的彼此相反侧的一部分分别重叠的方式连接；以及线状导体，分别连接于电阻元件用电极（4）。电阻元件用电极（4）具有：直线边部（40S），彼此相向的内侧边被做成直线；以及端缘部（40E），直线边部（40S）的两端之中的至少一个连接于线状导体，直线边部（40S）的全部以内侧边（40L）分别平行的方式配置，电阻元件（3）连接于直线边部（40S），端缘部（40E）不连接于电阻元件（3）而露出。

技术领域

本发明涉及传感器模块和传感器模块的制造方法。

背景技术

在构成压力传感器的传感器模块中，存在在隔板（diaphragm）部形成有对应变量进行检测的4个电阻元件以及连接于这些电阻元件的电阻元件用电极和线状导体的传感器模块。线状导体用于连接电阻元件用电极与端子部等，具有规定的布线图案。

在传感器模块中，存在在隔板部通过丝网印刷形成多个线状导体和电阻元件用电极并且在多个电阻元件用电极之中的相邻的电阻元件用电极之间通过丝网印刷形成电阻元件的以往例（文献1；日本特许第3691842号公报）。

在文献1中，将细长地形成的电阻元件用电极相向配置，并且，以使用两侧部覆盖这些电阻元件用电极的方式形成平面矩形状的电阻元件。

在检测力学量的力学量传感器中，存在具备力学量施加的金属基板、包覆该金属基板的表面的多层绝缘层、在该多层绝缘层的表面印刷烧结的长方形状的应变电阻元件、以及以连接于该应变电阻元件的方式印刷烧结的线状导体的以往例（文献2；日本特开平9-243472号公报）。

在印刷电阻体中，存在应用于电子电路单元并且在与绝缘基板的一个表面彼此平行的状态下形成一对带状的线状导体图案并在这些线状导体图案之间形成电阻体的以往例（文献3；日本特开2004-55946号公报）。

在文献1的以往例中，通过从丝网的开口部使用刮板（squeegee）推出导电性的浆的丝网印刷来形成电阻元件、电阻元件用电极、线状导体。具体地，为了形成一对电阻元件用电极而将导电性的浆细长地涂敷在隔板部，为了形成电阻元件，在一对电阻元件用电极之间呈平面矩形状地涂敷导电性的浆。通常，为了使涂敷的导电性的材料变少，以电阻元件的端缘与电阻元件用电极的端部对准的方式涂敷导电性的浆。

但是，浆具有流动性，因此，当通过丝网印刷在隔板部呈直线状地涂敷导电性的浆时，在开始涂敷的端缘部中，浆的平面形状带有圆形。当在通过丝网印刷形成的电阻元件用电极中存在带有圆形的部分并且电阻元件搭在该部分时，电阻元件的距离即电阻值遍及电阻元件用电极的长尺寸方向而不同。4个电阻元件的电阻值需要为规定值，但是，当电阻元件和电阻元件用电极的连接条件不同时，各个电阻元件的电阻值不同。当像这样电阻值不同时，在传感器的偏移值产生偏差，在使用时输出调整变得繁杂。

在文献2的以往例中，应变电阻元件的宽度尺寸相对于线状导体的宽度尺寸较大，因此，即使应变电阻元件在印刷时偏离，也减少应变电阻元件的温度特性的偏差。但是，文献2的以往例与文献1的以往例同样地，丝毫未对开始印刷线状导体时的课题进行解决。

文献3的以往例用于电子电路单元，并且，不对压力进行测定。而且，仅公开了1组一对导电图案和电阻体，即不存在与构成桥式电路（bridge circuit）的4个电阻元件中的电阻值的差有关的课题的提示。

发明内容

本发明的目的在于提供一种使多个电阻元件的电阻值的差变少而输出调整容易的传感器模块和传感器模块的制造方法。