[实用新型]双质量式硅微振动陀螺仪

权利要求书

1.一种双质量式硅微振动陀螺仪，其特征在于，包括基座、第一子结构(1a)、第二子结构(1b)和子结构连接装置，第一子结构(1a)和第二子结构(1b)之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构(1a)和第二子结构(1b)均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量块(3a)、固定在基座上的第一固定基座(10a1)、固定在基座上的第二固定基座(10a2)、固定在基座上的第三固定基座(10a3)、固定在基座上的第四固定基座(10a4)、第一驱动机构(11a1)、第二驱动机构(11a2)、第一检测机构(15a1)、第二检测机构(15a2)、第一驱动平行梁(8a1)、第二驱动平行梁(8a2)、第一检测平行梁(9a1)、第二检测平行梁(9a2)、第一固接U型折叠梁(6a1)、第二固接U型折叠梁(6a2)、第三固接U型折叠梁(7a2)、第四固接U型折叠梁(7a4)、第五固接U型折叠梁(6a4)、第六固接U型折叠梁(6a3)、第七固接U型折叠梁(7a3)、第八固接U型折叠梁(7a1)；第一驱动机构(11a1)通过第一固接U型梁(8a1)连接至第一固定基座(10a1)、第一驱动机构(11a1)通过第二固接U型梁(6a2)连接至第二固定基座(10a2)；第二检测机构(15a2)通过第三固接U型梁(7a2)连接至第二固定基座(10a2)、第二检测机构(15a2)通过第四固接U型梁(7a4)连接至第三固定基座(10a3)；第二驱动机构(11a2)通过第五固接U型梁(6a4)连接至第三固定基座(10a3)、第二驱动机构通过第六固接U型梁(6a3)连接至第四固定基座(10a4)；第一检测机构(15a1)通过第七固接U型梁(7a3)连接至第四固定基座(10a4)、第一检测机构(15a1)通过第八固接U型梁(7a1)连接至第一固定基座(10a1)；第一驱动机构(11a1)设置在质量块(3a)的一侧，第二驱动机构(11a2)设置在质量块(3a)相对的另一侧，第一驱动机构(11a1)与质量块(3a)之间通过第一驱动平行梁(8a1)连接，第二驱动机构(11a2)与质量块(3a)之间通过第二驱动平行梁(8a2)连接，以从一个驱动方向上驱动该质量块(3a)在上振动；第一检测机构(15a1)设置在质量块(3a)的一侧，第二检测机构(15a2)设置在质量块(3a)相对的另一侧，第一检测机构(15a1)与质量块(3a)之间通过第一检测平行梁(9a1)连接，第二检测机构(15a2)与质量块(3a)之间通过第二检测平行梁(9a2)连接，以检测质量块(3a)在垂直于驱动方向上的质量块(3a)的振动，所述基座为玻璃基座。

2.根据权利要求1所述的双质量式硅微振动陀螺仪，其特征在于，所述的子结构连接装置连接包括第一U型折叠梁(2a)和第二U型折叠梁(2b)，第一子结构(1a)和第二子结构(1b)相互抵靠，在两者紧邻的驱动机构的上端和下端分别设置有第一U型折叠梁(2a)和第二U型折叠梁(2b)以连接第一子结构(1a)和第二子结构(1b)。

3.根据权利要求1所述的双质量式硅微振动陀螺仪，其特征在于，所述的第一固定基座(10a1)、第二固定基座(10a2)、第三固定基座(10a3)、第四固定基座(10a4)分别设置于一正方形的四角，质量块(3a)设置于该正方形的中央，第一驱动机构(11a1)、第一检测机构(15a1)、第二驱动机构(11a2)、第二检测机构(15a2)分别设置于该正方形四边的外侧，其中第一驱动机构(11a1)和第二驱动机构(11a2)设置于相对两边的外侧，第一检测机构(15a1)与第二检测机构(15a2)设置于相对的另外两边的外侧。

4.根据权利要求1所述的双质量式硅微振动陀螺仪，其特征在于，第一驱动机构(11a1)和第二驱动机构(11a2)之间分别通过第一框架(14a1)和第二框架(14a2)连接，所述的第一驱动机构(11a1)和第二驱动机构(11a2)为微型驱动电容机构，所述的微型驱动电容机构包括驱动活动梳齿架(12a2)、驱动反馈活动梳齿架(12a1)、设置于基座上的驱动固定基座(10a7)、设置于驱动固定基座上(10a7)的驱动固定梳齿(13a2)、设置于基座上的驱动反馈固定基座(10a5)和设置于驱动反馈固定基座(10a5)上的驱动反馈固定梳齿(13a1)。