[实用新型]基板夹紧装置有效
申请号: | 201420031036.1 | 申请日: | 2014-01-17 |
公开(公告)号: | CN203800028U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 龟谷泰范;藤田阳司 | 申请(专利权)人: | 富士机械制造株式会社 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆德骏;谢丽娜 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹紧 装置 | ||
技术领域
在此公开的技术涉及一种夹紧基板的基板夹紧装置。此外,在本说明书中所说的基板是指所谓刚性基板(即,柔性基板除外),较典型地,是指电子电路基板(生基板、印刷基板)、玻璃基板。
背景技术
已知有夹紧基板的基板夹紧装置(以下,称为夹紧装置)。夹紧装置广泛地采用于向基板(生基板)曝光布线图案的基板曝光机、向基板印刷焊料的焊料印刷机、向基板涂敷粘接剂的粘接剂涂敷机、向基板安装电子元件的元件安装机及其他基板作业机。
例如,在日本特开2008-168442号公报中,记载有具有夹紧装置的焊料印刷机。该焊料印刷机的夹紧装置具备一对夹紧部件和将一对夹紧部件的一方支撑为能够旋转的浮动机构。根据这种结构,即使在基板的两侧边不平行时,一对夹紧部件也能够通过一方的夹紧部件被动地进行旋转而牢固地夹紧基板。
通常,浮动机构使机械装置的刚性降低。因此,即使在上述的夹紧装置中也存在如下情况:在一对夹紧部件夹紧基板时,设有浮动机构的夹紧部件由于来自基板的反作用力而沿上下方向(与基板垂直的方向)发生位移。在这种情况下,基板的位置、姿势发生变化,因此焊料印刷、电子元件的安装这类对基板的处理可能无法准确地进行。
实用新型内容
考虑上述的实际情况,本说明书提供一种在基板夹紧装置中能够防止或减少由浮动机构引起的刚性的降低的技术。
本说明书公开了一种夹紧基板的基板夹紧装置。该基板夹紧装置具备:第一夹紧部件,与基板的一方的侧边抵接;第二夹紧部件,与基板的另一方的侧边抵接,在第二夹紧部件与第一夹紧部件之间夹紧基板;浮动机构,在与基板平行的面内将第二夹紧部件支撑为能够旋转,并且上述浮动机构的至少一部分与基板位于同一平面上;及基座单元,经由浮动机构对第二夹紧部件进行支撑。此外,在本说明书中只记载为基板时,作为原则,是指由第一夹紧部件及第二夹紧部件夹紧时的基板。
根据上述的结构,在第一夹紧部件及第二夹紧部件夹紧基板时,第二夹紧部件从基板受到的反作用力的位置相对于与基板垂直的方向而与浮动机构的位置一致。因此,即使在第二夹紧部件从基板受到了较大的反作用力时,也能够防止或减少第二夹紧部件以浮动机构为中心向与基板垂直的方向发生位移(旋转)这一情况。
优选为,通过浮动机构进行旋转的第二夹紧部件的旋转轴在第二夹紧部件的长度方向上位于中央。根据这种结构,第二夹紧部件的结构的刚性以浮动机构为中心具有对称性,而能够抑制由浮动机构引起的刚性的大幅度的降低。
基板夹紧装置也可以具备线性导向机构,该线性导向机构将第一夹紧部件及第二夹紧部件的至少一方支撑为能够相对于基板进行平行移动。在这种情况下,根据上述的对称性的观点,优选为,通过浮动机构进行旋转的第二夹紧部件的旋转轴位于线性导向机构的宽度方向中央。在此所说的线性导向机构的宽度方向中央在线性导向机构具有单个导轨的情况下是指该导轨的宽度方向的中央、在线性导向机构具有一对导轨的情况下是指一对导轨之间的中央。
优选为,基座单元具有固定基座部件与可动基座部件。在这种情况下,优选为,浮动机构将第二夹紧部件支撑为能够相对于可动基座部件进行旋转,线性导向机构将可动基座部件支撑为能够相对于固定基座部件进行平行移动。即,优选为,线性导向机构与浮动机构一起将第二夹紧部件支撑为能够平行移动。但是,作为其他实施方式,也可以是浮动机构与线性导向机构一起将第二夹紧部件支撑为能够旋转的结构。
优选为,作为一个结构例,浮动机构具有:轴部,设于第二夹紧部件与基座单元的一方,并且上述轴部的至少一部分与基板位于同一平面上;及轴孔,设于第二夹紧部件与基座单元的另一方,并且将轴部收纳成能够旋转。根据这种结构,第二夹紧部件从基板受到的反作用力实质上垂直地作用于浮动机构的轴部。由此,能够更有效地防止或减少第二夹紧部件向与基板垂直的方向发生位移这一情况。
优选为,浮动机构具有设置在轴部与轴孔之间的轴承。由此,能够降低由浮动机构产生的摩擦阻力。
优选为,轴承具有多个滚动体,该滚动体的至少一部分与基板位于同一平面上。根据这种结构,第二夹紧部件从基板受到的反作用力实质上垂直地作用于轴承的滚动体。因此,能够有效地防止或减少第二夹紧部件以浮动机构为中心(特别是以轴承为中心)在与基板垂直的方向上发生位移(旋转)这一情况。
虽未特别地限定,但轴承的内径优选为25mm以上、且50mm以下,轴承的外径优选为40mm以上、且70mm以下。
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