[实用新型]基板夹紧装置

权利要求书

1.一种基板夹紧装置，用于夹紧基板，所述基板夹紧装置具备：

第一夹紧部件，与所述基板的一方的侧边抵接；

第二夹紧部件，与所述基板的另一方的侧边抵接，在所述第二夹紧部件与第一夹紧部件之间夹紧所述基板；

浮动机构，在与所述基板平行的面内将所述第二夹紧部件支撑为能够旋转，并且所述浮动机构的至少一部分与所述基板位于同一平面上；及

基座单元，经由所述浮动机构对所述第二夹紧部件进行支撑。

2.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其中，

通过所述浮动机构进行旋转的所述第二夹紧部件的旋转轴在所述第二夹紧部件的长度方向上位于中央。

3.根据权利要求2所述的基板夹紧装置，其中，

所述基板夹紧装置具备线性导向机构，所述线性导向机构将所述第一夹紧部件及所述第二夹紧部件的至少一方支撑为能够相对于所述基板进行平行移动，

通过所述浮动机构进行旋转的所述第二夹紧部件的旋转轴位于所述线性导向机构的宽度方向的中央。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板夹紧装置，其中，

所述浮动机构具有：

轴部，设于所述第二夹紧部件与所述基座单元的一方，并且所述轴部的至少一部分与所述基板位于同一平面上；及

轴孔，设于所述第二夹紧部件与所述基座单元的另一方，并且将所述轴部收纳成能够旋转。

5.根据权利要求4所述的基板夹紧装置，其中，

所述浮动机构具有设置在所述轴部与所述轴孔之间的轴承。

6.根据权利要求5所述的基板夹紧装置，其中，

所述轴承的内径为25mm以上、且50mm以下，所述轴承的外径为40mm以上、且70mm以下。

7.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其中，

所述基板夹紧装置还具备姿势维持机构，

所述姿势维持机构具有固定于所述第二夹紧部件的第一单元和固定于所述基座单元的第二单元，

所述第一单元与所述第二单元在与由所述第一夹紧部件及所述第二夹紧部件夹紧的所述基板垂直的方向上互相抵接，而抑制所述第二夹紧部件在与所述基板垂直的方向上发生位移。

8.根据权利要求7所述的基板夹紧装置，其中，

所述姿势维持机构的第一单元与第二单元中的一方具有与由所述第一夹紧部件及所述第二夹紧部件夹紧的所述基板平行的支撑面，

所述姿势维持机构的第一单元与第二单元中的另一方具有随着所述第二夹紧部件通过所述浮动机构进行旋转而在所述支撑面上进行滑动或滚动的抵接部。

9.根据权利要求8所述的基板夹紧装置，其中，

所述姿势维持机构的抵接部是在所述姿势维持机构的支撑面上进行滚动的旋转体。

10.根据权利要求9所述的基板夹紧装置，其中，

所述旋转体的旋转轴与通过所述浮动机构进行旋转的所述第二夹紧部件的旋转轴交叉。