[发明专利]用于确定离子质量选择的装置有效
申请号: | 201410365969.9 | 申请日: | 2014-05-15 |
公开(公告)号: | CN104217918B | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | A·格拉斯马彻斯;M·阿里曼 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | H01J49/28 | 分类号: | H01J49/28 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 侯宇 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 确定 离子 质量 选择 装置 | ||
1.一种用于质量筛选地确定至少一种离子的装置(1400),具有
-至少一个用于储存至少一个离子的离子阱(1404),其中离子阱(1404)具有至少一个环形电极(1401),其中环形电极(1401)具有至少一个第一开口,其中离子阱(1404)具有至少一个安置在第一开口上的第一电极(1402),
-至少一个用于为离子阱(1404)提供高频储存信号的放大器(1408),并且具有
-至少一个第一变压器(1411),它与放大器(1408)和第一电极(1402)这样连接,使得高频储存信号通过第一变压器(1411)耦合进第一电极(1402)中,并且具有
-至少一个初级变压器(1409),其中,初级变压器(1409)和第一变压器(1411)具有相同的变压器芯和相同的初级绕组(1428),其中,初级变压器(1409)具有第一次级绕组(1429),其中,第一变压器(1411)具有不同于第一次级绕组(1429)的第二次级绕组(1430),并且其中,第一次级绕组(1429)的绕组方向和第二次级绕组(1430)的绕组方向是不同的。
2.按权利要求1所述的装置(1400),其中,环形电极(1401)具有至少一个第二开口,并且其中,离子阱(1404)具有至少一个安置在第二开口上的第二电极(1403)。
3.根据权利要求2所述的装置(1400),其中,第一电极(1402)与至少一个第一石英晶体滤波装置(1414)连接。
4.根据权利要求3所述的装置(1400),其中
-在第一变压器(1411)和第一电极(1402)之间连接至少一个第一可调节的电容器(1410),并且其中
-第一石英晶体滤波装置(1414)连接在也连接了第一可调节的电容器(1410)和第一电极(1402)的第一电路结点上。
5.根据权利要求2所述的装置(1400),其中
-装置(1400)具有至少一个用于加强第一电极(1402)的第一测量信号的第一测量放大器(1416),并且其中
-第一电极(1402)和用于为第一电极(1402)产生第一激励信号的第一激励单元(1417)与第一测量放大器(1416)的输入端连接。
6.根据权利要求5所述的装置(1400),其中装置(1400)具有至少一个以下特征:
-在第一电极(1402)和第一激励单元(1417)之间安置第一开关(1418),或者
-在第一激励单元(1417)和第一测量放大器(1416)之间安置第二开关(1419)。
7.根据权利要求2所述的装置(1400),其中装置(1400)具有至少一个第二变压器(1413),它与放大器(1408)和与第二电极(1403)这样地连接,使得高频储存信号通过第二变压器(1413)耦合进第二电极(1403)中。
8.根据权利要求7所述的装置(1400),其中
-初级变压器(1409)和第二变压器(1413)具有相同的变压器芯和相同的初级绕组(1428),
-初级变压器(1409)具有第一次级绕组(1429),
-第二变压器(1413)具有不同于第一次级绕组(1429)的第三次级绕组(1431),并且其中
-第一次级绕组(1429)的绕组方向和第三次级绕组(1431)的绕组方向是不同的。
9.根据权利要求7或8所述的装置(1400),其中,第二电极(1403)和至少一个第二石英晶体滤波装置(1415)连接。
10.根据权利要求9所述的装置(1400),其中
-在第二变压器(1413)和第二电极(1403)之间连接至少一个第二可调节的电容器(1412),并且其中
-第二石英晶体滤波装置(1415)连接在也连接了第二可调节的电容器(1412)和第二电极(1403)的第二电路结点上。
11.根据权利要求2所述的装置(1400),其中
-装置(1400)具有至少一个用于加强第二电极(1403)的第二测量信号的第二测量放大器(1422),并且其中
-第二电极(1403)和用于为第二电极(1403)产生第二激励信号的第二激励单元(1423)与第二测量放大器(1422)的输入端连接。
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