[发明专利]涂胶设备及其框架

说明书

本发明提供了一种涂胶设备及其框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。本发明可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备，尤其涉及一种涂胶设备及其框架。

背景技术

在半导体工艺中，光刻是一种重要的工艺。在光刻工艺中，需要采用涂胶设备(coater)进行光刻胶的涂布，后续还需要对光刻胶进行烘、曝光、显影等操作。为了提高设备集成度，现有技术中的涂胶设备往往集成有烘烤机(bake)。

目前的烘烤机的壳体通常是封闭的，其中设置有支撑架用于支撑烘烤机。在设备总装时，需要通过人力将烘烤机抬起后放置在封闭壳体内的支撑架上。但是，烘烤机的重量通常是非常大的，例如可以达到数百公斤，这就使得烘烤机的安装过程比较费时、费力。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种涂胶设备及其框架，可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

根据本发明的一个实施例，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。

根据本发明的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。

本发明还提供了一种涂胶设备，包括：

框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架；

烘烤机，设置在所述支承架上；

其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

根据本发明的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明实施例的涂胶设备的框架为开放的框架式结构，采用多条横梁和纵梁拼接而成，其侧壁具有安装开口，该安装开口的底边位置与支撑架的位置相对，并且该开口底边位置处的横梁至少部分可拆卸。在安装烘烤机时，可以将可拆卸的部分拆卸下来，利用铲车等外部起重设备直接将烘烤机放置在支撑架上，无需人力，更加省时、省力。

附图说明

图1是本发明实施例的涂胶设备的框架的立体结构示意图；

图2是本发明实施例的涂胶设备的框架改换另一视角的立体结构示意图；

图3是本发明实施例的涂胶设备的立体结构示意图；

图4是本发明实施例的涂胶设备的改换另一视角的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。