[发明专利]真空腔盖翻转装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种腔盖翻转装置，尤其涉及一种真空腔盖的安全翻转装置。

背景技术

半导体制程中的一些腔体通常都带有真空腔盖，在操作中真空腔盖需要频繁的打开或是关闭。由于真空腔盖通常有30-40Kg重，一般的开合机构并不能承受这么大的重量，如何设计一种辅助的腔盖开合装置，可以轻松而安全的对真空腔盖进行翻转，是业界亟待解决的问题之一。

发明内容

以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。

本发明的目的在于解决上述问题，提供了一种真空腔盖翻转装置，可以轻松且安全的翻转真空腔盖，提高工作效率。

本发明的技术方案为：本发明揭示了一种真空腔盖翻转装置，包括：

基座；

操作件，安装在基座之上，供用户进行腔盖翻转的操作；

翻转件，位于基座上，卡住真空腔盖进行翻转；

传动组件，位于基座内部，其输入端连接操作件，输出端连接翻转件，将操作件提供的动力输入转化为翻转件翻转的动力输出，带动真空腔盖开启或关闭。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，操作件是手轮。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，翻转件是一对翻转臂，分别位于基座的两侧。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，传动组件是由涡轮蜗杆和多个直齿齿轮组合而成，将操作件提供的动力输入分别通过涡轮蜗杆和所述多个直齿齿轮转化为翻转件的动力输出。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，所述多个直齿齿轮是第一直齿齿轮、第二直齿齿轮、第三直齿齿轮和第四直齿齿轮，所述涡轮蜗杆带动第一直齿齿轮转动，所述第一直齿齿轮带动所述第二直齿齿轮转动，所述第二直齿齿轮带动所述第三直齿齿轮转动，所述第三直齿齿轮带动所述第四直齿齿轮转动。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，涡轮蜗杆具有自锁功能。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，传动组件的减速比是228。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，所述第一直齿齿轮的背面与所述涡轮蜗杆的涡轮同轴。

本发明对比现有技术有如下的有益效果：本发明的方案是用手轮作为动力输入的操作件，通过一组传动组件将动力输出到翻转臂上，通过传动组件的大减速比，较低的动力输入也可以轻松打开30-40kg的腔盖。此外，由于传动组件中采用了带自锁功能的涡轮蜗杆，也保证了腔盖开闭的安全性。

附图说明

图1示出了本发明的真空腔盖翻转装置的较佳实施例的结构图。

图2示出了真空腔盖翻转装置卡住真空腔盖的示意图。

图3A、3B分别示出了真空腔盖翻转装置腔盖闭合以及腔盖打开时的示意图。

图4示出了真空腔盖翻转装置内部结构示意图。

具体实施方式

在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。

图1示出了本发明的真空腔盖翻转装置的较佳实施例的结构。如图1所示，本实施例的真空腔盖翻转装置包括基座1、操作件、翻转件以及传动组件。操作件在本实施例中是一个手轮2，安装在基座1的顶部，可以供用户转动手轮，提供腔盖翻转的原始的动力输入。翻转件在本实施例中是一对翻转臂3a和3b，分别位于基座1的两侧。

翻转臂卡住真空腔盖的情况可参见图2，在图2中，这一对翻转臂3a和3b卡扣住真空腔盖4。当手轮2转过一个角度时，翻转臂3a和3b被控制在水平方向，此时真空腔盖4也被卡在水平面上，即腔盖处于关盖状态，如图3A所示。当手轮2转过另一个角度时，翻转臂3a和3b被控制在竖直方向，此时真空腔盖4也被卡在垂直面上，即腔盖处于打开状态，如图3B所示。