[发明专利]真空腔盖翻转装置在审
申请号: | 201410365826.8 | 申请日: | 2014-07-29 |
公开(公告)号: | CN105317307A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 杨宏超;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | E05F11/02 | 分类号: | E05F11/02;F16H1/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 施浩 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空腔 翻转 装置 | ||
1.一种真空腔盖翻转装置,包括:
基座;
操作件,安装在基座之上,供用户进行腔盖翻转的操作;
翻转件,位于基座上,卡住真空腔盖进行翻转;
传动组件,位于基座内部,其输入端连接操作件,输出端连接翻转件,将操作件提供的动力输入转化为翻转件翻转的动力输出,带动真空腔盖开启或关闭。
2.根据权利要求1所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,操作件是手轮。
3.根据权利要求1所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,翻转件是一对翻转臂,分别位于基座的两侧。
4.根据权利要求1所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,传动组件是由涡轮蜗杆和多个直齿齿轮组合而成,将操作件提供的动力输入分别通过涡轮蜗杆和所述多个直齿齿轮转化为翻转件的动力输出。
5.根据权利要求4所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,所述多个直齿齿轮是第一直齿齿轮、第二直齿齿轮、第三直齿齿轮和第四直齿齿轮,所述涡轮蜗杆带动第一直齿齿轮转动,所述第一直齿齿轮带动所述第二直齿齿轮转动,所述第二直齿齿轮带动所述第三直齿齿轮转动,所述第三直齿齿轮带动所述第四直齿齿轮转动。
6.根据权利要求4所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,涡轮蜗杆具有自锁功能。
7.根据权利要求4所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,传动组件的减速比是228。
8.根据权利要求5所述的真空腔盖翻转装置,其特征在于,所述第一直齿齿轮的背面与所述涡轮蜗杆的涡轮同轴。
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