[发明专利]一种集成ESD防护功能的高频共模LC滤波设计方法

权利要求书

1.一种集成ESD防护功能的高频共模LC滤波设计方法，其特征是用硅基制造的高频共模滤波电感和TVS二极管进行组合封装后形成一颗完整芯片的设计方法。

2.根据权利要求1所述的一种集成ESD防护功能的高频共模LC滤波设计方法，其特征在于，制作高频共模滤波电感时需要采用电阻率大于3K的区熔单晶硅片，在其上进行硅基底的制作及电感铜线圈的制作，利用硅基底实现高频共模电感的设计，并依据封装要求进行磨片。

3.根据权利要求1所述的一种集成ESD防护功能的高频共模LC滤波设计方法，其特征在于，通过传统的TVS设计工艺，实现一款高抗静电、极低电容值的TVS二极管设计，并依据封装要求进行磨片。

4.根据权利要求1所述的一种集成ESD防护功能的高频共模LC滤波设计方法，其特征在于，将权利要求2和权利要求3中所述的硅基高频共模滤波电感与TVS二极管进行组合封装，实现性能高、体积小的发明设计理念。