[发明专利]强酸集中供液系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种强酸集中供液系统，尤其是一种减少酸气溢出、提高抽酸量的供液装置。

背景技术

强酸（包含HF、HCl、HNO₃、H₂SO₄等）一般采用集中供液系统，采取特殊的措施，方便集中管理和使用。强酸从集中供液房通过输送系统，送到不同的地方，以满足到不同的工艺需求。现有技术中，集中供酸系统一般采用如图1所示的结构，在泵2a的出液端的管道上连接回液管3a，但是由于回液管3a与储酸槽5a之间未密封，空气和酸气可以自由进出，空气中的灰尘进入储酸槽5a会污染酸液，对工艺造成潜在影响，对要求高的半导体行业是不可忽视的因素；并且，酸气溢出也会造成集中供液房酸气大，影响工人身心健康。另外，现有的集中供液系统由于抽液管的设计不够合理，酸液抽不净，余量一般为了5%～8%，造成浪费。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种强酸集中供液系统，防止酸气溢出对环境、健康的影响，并且使液管最大限度的抽酸，减少浪费。

按照本发明提供的技术方案，所述强酸集中供液系统，包括储酸罐，储酸罐中插入出液管，出液管的管口插入储酸罐的槽底，出液管与泵的进口连接，泵的出口端的管道与回液管连接，回液管与储酸槽之间密封，回液管插入储酸槽中；其特征是：在所述回液管上连接进气管，进气管的进气端连接单向阀和过滤器。

所述出液管伸入储酸槽中的长度比储酸槽的高度长6～10mm，出液管伸入储酸槽中的部分呈弧形，出液管的管口抵住储酸槽的槽底。

在所述出液管的管口设置多个缺口。

所述缺口为半圆形、锯齿形或矩形，缺口的高度为出液管半径的一半。

所述回液管的管口位于储酸槽的液面以上。

本发明所述强酸集中供液系统通过单向阀、过滤器，避免了酸气溢出对环境、健康的影响；并且重新对出液管进行设计，使管子最大限度的抽酸，减少浪费。

附图说明

图1为现有技术中集中供酸系统的结构示意图。

图2为本发明的结构示意图。

图3为所述出液管管口的示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图对本发明作进一步说明。

如图2～图3所示：所述强酸集中供液系统包括缺口1、泵2、回液管3、出液管4、储酸罐5、过滤器6、单向阀7、进气管8等。

如图2所示，本发明包括储酸罐5，储酸罐5中插入出液管4，出液管4的管口插入储酸罐5的槽底，出液管4与泵2的进口连接，泵2的出口端的管道与回液管3连接，回液管3插入储酸槽5中，回液管3与储酸槽5之间密封，回液管3的管口位于储酸槽5的液面以上；在所述回液管3上连接进气管8，进气管8的进气端连接单向阀7和过滤器6，过滤器6可以防止灰尘进入储酸罐5，单向阀7可以保证空气只能进入补压而不能出；

所述出液管4伸入储酸槽5中的长度加长6～10mm、并且出液管4呈弧形，出液管4的管口抵住储酸槽5的槽底；如图3所示，在所述出液管4的管口设置4个半圆形缺口1，缺口1的半径为出液管4半径的一半，比如出液管4半径为10mm，缺口1应开半径5mm，这样最后余量液面会低于1厘米，对于200L的储酸槽5酸液余量会小于2%；

所述缺口1的形状也可以为锯齿形、矩形或其它形状，高度为出液管4半径的一半。

采用本发明所述的强酸集中供液系统后，酸气浓度从以前的10-100ppm,降低到0-0.5ppm；酸的残余量由以前的5-10KG/桶，降低到3-5 KG/桶。