[发明专利]一种多晶硅铸锭炉无效
申请号: | 201410030643.0 | 申请日: | 2014-01-22 |
公开(公告)号: | CN103757690A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 严峰;王昊淇 | 申请(专利权)人: | 高佳太阳能股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 214174 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉,包括坩埚、加热器、隔热笼、炉腔壳体,所述坩埚上设置有加热器,所述坩埚与加热器的外部设置有隔热笼,所述隔热笼由上下固定的隔热顶板、隔热底板以及四周的活动的隔热笼侧板组成,所述隔热笼侧板由隔热笼外侧板与隔热笼内侧板组成,所述隔热笼内侧板分为上下两部分,即上隔热笼内侧板与下隔热笼内侧板,所述隔热笼外侧板设置在隔热笼内侧板外侧,所述隔热笼外侧板分为上下两部分,即上隔热笼外侧板与下隔热笼外侧板,其特征在于:所述下隔热笼内侧板内侧固定有至少一块防护板,所述防护板为复合板,所述复合板采用石墨碳材料复合板。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述石墨碳材料复合板通过固定螺丝固定在所述下隔热笼内侧板与下隔热笼外侧板上,所述固定螺丝由石墨螺杆和石墨螺母组成。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述石墨碳材料复合板碳元素含量≥99%。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述石墨碳材料复合板的平行纤维方向、垂直纤维方向拉伸强度均≥5MPa、导热率≥0.06W/mK。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述防护板设置为四块,大小一致,每块的长度为663mm,宽为330mm,厚为40mm。
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