[发明专利]含酚羟基的化合物、含酚羟基的组合物、含(甲基)丙烯酰基的树脂、固化性组合物、其固化物、及抗蚀剂材料

说明书

技术领域

本发明涉及固化物中的耐热性优异的含(甲基)丙烯酰基的树脂、作为其原料的含酚羟基的组合物、固化性组合物、其固化物、及抗蚀剂材料。

背景技术

近年，电子设备的技术显著进步，集成电路的高密度化、高性能化快速发展。印刷电路布线基板也相应地进行了高密度化、高布线化、部件的表面安装化，变得要求超过以往的高精度、高性能。为了适应该集成电路的高密度化、高性能化，针对作为集成电路的主要材料的阻焊剂进行了高性能化的研究，但对于内部具有精密布线的积层基板等而言，存在会在阻焊剂与封装树脂的界面产生被称为爆米花(popcorn)现象的裂纹的问题，进而要求高耐热性的阻焊剂。

伴随集成电路的高集成化，作为线宽20nm以下的超细微图案化的手法，纳米压印法受到了瞩目。若大致区分该纳米压印法，则可以分为热纳米压印法和光纳米压印法。对于热纳米压印法而言，加热至玻璃化转变温度以上，对软化了的高分子树脂压制模具，冷却后将模具脱模，由此将细微结构转印到基板上的树脂上，因此，能比较廉价地形成纳米图案，期待在各种领域中的应用。然而，热纳米压印法中，由于需要通过加热使该高分子树脂软化，所以难以使用具有高玻璃化转变温度的高分子树脂，近年来，难以在要求更高的耐热性的电气/电子领域中应用。

另一方面，通过光照射使组合物光固化的光纳米压印法中，在压制时不需要将进行图案转印的模具材料加热，可以在室温下压印。应用于光纳米压印的光固化性树脂有自由基聚合型和离子聚合型、以及它们的混合型，任一型的固化性组合物均能够用于纳米压印用途，但从材料的选择范围广的方面出发，通常，自由基聚合型的光固化性组合物得到广泛研究。

纳米压印法中，除了上述高集成的集成电路之外，在得到液晶显示器的薄膜晶体管、液晶滤色器的保护膜、间隔物、其他液晶显示装置用构件的细微加工用途的永久膜时，要求能够获得高机械特性、透明性、耐光性、耐热性的纳米压印用材料，特别是要求能够获得高耐热性优异的固化物的材料。

作为能够得到具有高耐热性的固化物、作为阻焊剂有用的材料，已知例如具有联苯骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯树脂(例如参见专利文献1)，但并不是具有近年要求的高耐热性的材料。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-157340号公报

发明内容

      发明要解决的问题      

本发明要解决的课题在于提供一种耐热性优异、作为阻焊剂、薄膜晶体管、液晶滤色器的保护膜、间隔物、其他液晶显示装置用构件的细微加工用途的永久膜有用的含(甲基)丙烯酰基的树脂、作为其原料的含酚羟基的组合物、固化性组合物、其固化物、及抗蚀剂材料用组合物。

      用于解决问题的方案      

本发明人等反复深入研究，结果发现：使具有三苯基甲烷结构的含酚羟基的组合物与醛化合物反应而得到的含(甲基)丙烯酰基的树脂在其固化物中具有非常高的耐热性，从而完成了本发明。

即，本发明提供一种含酚羟基的化合物，其具有下述通式(1)表示的分子结构，且V、W、X、及Y的至少一者为羟基，另外，V、W、X、及Y的至少一者为(甲基)丙烯酰氧基。

            

[式中，R¹、R²及R³分别独立地为碳原子数1～8的烷基，m及n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。另外，V为氢原子、(甲基)丙烯酰氧基或羟基，W、X及Y分别独立地为(甲基)丙烯酰氧基或羟基。]

另外，本发明提供一种含酚羟基的组合物，其含有多种上述通式(1)表示的含酚羟基的化合物，每1分子中的(甲基)丙烯酰氧基的平均数为0.5～2.5个的范围。

另外，本发明提供一种固化性组合物，其含有上述含酚羟基的化合物。

另外，本发明提供一种含(甲基)丙烯酰基的树脂，其是使上述含酚羟基的组合物与醛化合物反应而得到的。

另外，本发明提供一种固化性组合物，其含有上述含(甲基)丙烯酰基的树脂。

进而，本发明提供一种固化物，其是使上述固化性组合物聚合而形成的。

进而，本发明提供一种抗蚀剂材料，其包含上述固化性组合物。

      发明的效果