[发明专利]吸气泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种改进的吸气泵，其包括多个吸气盒。

背景技术

单独使用或与其他类型的泵组合使用的吸气泵被广泛使用和知道，并被描述在各种文献中，例如申请人名下的国际专利申请WO 9858173、WO 2010/105944和WO 2009/118398中。

尽管吸气泵与其他类型的真空泵的组合在某些应用、比如真空下运行的表面科学系统和分析仪中提供了显著的优点，但是，当存在限制不允许这样的组合使用时优选使用单独的吸气泵，尤其是在诸如H₂、CO、CO₂的活性气体是主要气体源且惰性气体的泵送不是问题的时候更是如此。

EP 0742370和EP 0753663(两者都在申请人名下)描述了使用多个吸气材料盘片的特定类型的吸气泵，所述多个吸气材料盘片安装在中心支撑件上，而申请人名下的US 6149392描述了一种包含多个这样的元件的泵，这三篇文献的教导和内容通过引入结合在本文中。

在US 6149392中，人们认识到，对于一些应用，具有高的气体吸附速度比高的气体吸附能力更重要且更关键，典型的例子是粒子加速器的情况，其中，有多个真空泵安装在加速器的不同部分上，以在整个长度上提供充足的真空度。

发明内容

发明人已经进一步研究了该问题，并发现能够进一步改善泵送速度的替代且不同的构造。在第一个方面，本发明在于一种吸气泵，其包括：壳体，所述壳体的形状是回转体；和多个吸气盒，所述多个吸气盒安装在所述吸气泵壳体内，每个吸气盒包括线性中心支撑件和安装在所述线性中心支撑件上的间隔开的吸气元件。包含线性中心支撑件并平行于所述回转体轴线的平面被定义为吸气盒定向平面，垂直于壳体轴线并穿过线性中心支撑件的中点的平面被定义为吸气盒定位平面，所述吸气泵的特征在于，由定位平面与线性中心支撑件形成的角度等于或小于30°，优选地等于或小于10°。

表述回转体用来包括通过使一平面区域绕位于同一平面中的一给定轴线旋转而得到的所有立体图形，所述给定轴线也被定义为回转轴线。在本发明共同的且最有用的实施例中，所述回转体为圆柱体，而其他有用形状是圆锥体或截锥体或它们的组合。此外，为了本发明的目的，考虑到回转体是理想形状，而泵壳体是实物，与该理想几何回转形状的微小偏差仍在其广度和范围之内。

鉴于在最优选的实施例中所述回转体为圆柱体，在下面的实例中，对于吸气泵壳体将特别参考该形状，但是这仅被视为作为用于吸气泵外壳体的适合的几何形状的回转体的广义概念的非限制性实施例。

附图说明

本发明将借助于下面的附图进一步说明，其中：

图1显示了依照现有技术的吸气盒的示意图，所述吸气盒在本文中用作依照本发明的吸气泵中的组成元件；

图1A显示了依照现有技术的吸气盒的变形的示意图；

图2显示了依照本发明的吸气泵的实施例的横截面图；

图3显示了依照本发明的吸气泵的实施例的俯视图；

图3A显示了图3中所描绘的实施例的变形的俯视图。

具体实施方式

在这些图中，元件的尺寸和尺寸比例可能是不正确的，在有些情况下，例如在图1中，为了改善图的可理解性，相对于中心轴直径，盘片形式的间隔开的吸气元件的直径已经被改变。

依照本发明的吸气泵构想存在多个吸气盒，例如图1中示意性显示的吸气盒，每个吸气盒10具有用作支撑件的中心轴11和典型地且最优选地具有盘片形状的多个间隔开的吸气元件12、12'、……12ⁿ。在图1中，没有显示将吸气盘片固定到中心轴上的装置，所述装置对于理解本发明来说不是必需的，并且在本领域技术人员的知识内。

如图1A所示，适于在依照本发明的吸气泵中使用的替代的吸气盒100可以具有吸气盘片，所述吸气盘片不是等距离间隔开的，而是在末端或在盘片堆叠内可以存在一定间隙/空隙。如果存在吸气盒本身或诸如供电电缆或馈入装置的其他元件带来的妨碍需要考虑的话，这些空间是有用的。所以，具有多个大致等距离间隔开的吸气元件的吸气盒仅是在依照本发明的泵中使用的适合的吸气盒的优选且非限制性的例子。