[发明专利]吸气泵

权利要求书

1.一种吸气泵，其包括：壳体(21，21'；31)，所述壳体的形状是带有回转轴线(24)的回转体(24)；和安装在所述吸气泵壳体(21，21'；31)内的多个吸气盒(10；22，23；32，33，34；320，330，340)，每个吸气盒包括线性中心支撑件(11；221，231)和安装在所述线性中心支撑件(11；221，231)上的间隔开的吸气元件(12，12'，……，12ⁿ)，包含线性中心支撑件(11；221，231)并平行于所述回转轴线(24)的平面被定义为吸气盒定向平面，垂直于所述回转轴线(24)并穿过线性中心支撑件(11；221，231)的中点的平面被定义为吸气盒定位平面(222，232)，其特征在于，所述吸气盒定位平面(222，232)与线性中心支撑件(11；221，231)形成的角度(α，α')等于或小于30°，优选等于或小于10°。

2.如权利要求1所述的吸气泵，其中，所述回转体选自由圆柱体、圆锥体、截锥体构成的组。

3.如权利要求1或2所述的吸气泵，其中，所述间隔开的吸气元件(12，12'，……，12ⁿ)由金属或包括钛、锆、钇中的一种或多种的至少30％的合金制成。

4.如前述权利要求中任一项所述的吸气泵，其中，所述线性中心支撑件(11；221，231)具有在4cm到30cm之间的长度，并优选地每一厘米承载2到7个吸气元件(12，12'，……，12ⁿ)。

5.如前述权利要求中任一项所述的吸气泵，其中，所述壳体(31)在一个端部由一基部封闭，在相对的另一端部由一真空法兰封闭。

6.如权利要求1-4中任一项所述的吸气泵，其中，所述壳体(21，21'；31)是端部敞开的。

7.如前述权利要求中任一项所述的吸气泵，其中，至少两个吸气盒的定位平面具有小于1.5cm的距离，由此所述两个吸气盒位于大致同一定位平面中，该大致同一定位平面被定义为吸气子组件平面。

8.如前述权利要求中任一项所述的吸气泵，其中，由位于同一吸气子组件平面中的吸气盒的定向平面形成的多边形在顶点处的角度(β，β'，β)等于或小于130°，优选地等于或小于90°。

9.如前述权利要求中任一项所述的吸气泵，其中，同一吸气子组件平面包括以三角形构造布置的三个吸气盒(32，33，34)。

10.如权利要求8所述的吸气泵，其中，同一吸气子组件平面包括以正方形构造布置的四个吸气盒。

11.如权利要求8-10中任一项所述的吸气泵，其中，连接位于不同吸气子组件平面中的相邻多边形顶点的线与吸气子组件平面本身形成的角度等于或小于80°，优选地小于60°。

12.如权利要求7-11中任一项所述的吸气泵，其中，每米长度泵壳体(31)的吸气子组件平面的数量在40到80个之间。

13.一种如权利要求1所述的吸气泵在包括不同类型的真空泵的泵送系统中的使用。

14.如权利要求13所述的权利要求1所述吸气泵在泵送系统中的使用，其中，所述真空泵包括选自由溅射离子泵、涡轮分子泵、低温泵、NEG泵构成的组的真空泵。