[实用新型]基板位置偏差调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板位置偏差调整装置，特别地涉及一种用于调整机械手上的基板位置偏差的调整装置，即整列单元。 

背景技术

机械手又叫机器人(robot)在技术上日趋成熟，已经成为一种标准设备而得到工业界广泛应用，机械手的应用例如可提高生产效率、提高产品质量、降低企业成本。随着我国经济的持续发展和科学技术的突飞猛进，机械手在涂胶、码垛、点焊、弧焊、喷涂、搬运、测量等行业都有着相当广泛的应用。 

例如，在TEL涂胶显影装置中，通常是使用机械手来传送基板的。图1为示出了根据现有技术的机械手传送基板的示意图，其中的(a)图示出了基板在机械手上发生位置偏差的情形；(b)图示出了发生位置偏差的基板被运输到基台上的情形；以及(c)图示出了机械手撤走后，基台上的基板保持位置偏差的情形。具体如下，如图1所示，在机械手10传送基板20时，基板20发生位置偏差的概率通常比较大，例如在涂完光刻胶之后，机械手10传送基板20时，首先执行抓取基板20的动作，如果在此阶段基板20的位置发生偏差，则被送至下一工序，例如被送至热板时，基板20的位置偏差会一直保留而得不到纠正和调整。如图1中的(a)图所示，机械手10在抓取基板20时发生了基板20的位置偏差，例如基板20偏差5°。现有技术中的TEL涂胶显影装置中，对基板20的位置偏差进行校正的整列单元40通常位于基台30上，例如在图1中的(a)图中示出了位于基台30的四个拐角处的四个整列单元40。但是，如图1的(b)图、(c)图所示，尽管在基台30上设置了整列单元40，但是基板20在机械手10上的位置偏差会被一直保留，在机械手10撤走之后，基板20在基台30上仍然会保持偏差5°。 

这是因为基板20在驱动销下降后可能会搁在整列单元40上，从而使得 基台30上的整列单元40不能真正起到调整位置偏差的作用。具体如图2所示，图2示出了现有技术中的基板发生位置偏差的示意图，其中的(a)图为基板搁置到驱动销上的情形，(b)图为驱动销下降后的情形。如图2的(a)所示，例如在下一工序的热板内，机械手10将基板20搁置在驱动销50上，之后驱动销50下降将基板20搁置在基台30上，但是由于基板20在机械手10上已经发生位置偏差，因此，下降后的基板20可能会搁在整列单元40上，且由于热板内的高温无法安装用于检测基板位置的任何传感器，即使基板20的位置发生偏差，设备也不会有提示报警。因此会由于基板20与热板未充分接触而造成膜厚不均，例如在基板20未充分接触热板的区域导致膜厚增大。只有在后续工序中进行抽检时才可能发现上述问题，因而会造成产品大批返工，产生额外的成本支出。 

实践中，由于机械手的皮带张力会失去准确性，因而容易发生基板偏移，基于此，可以通过按时测试及调整皮带张力来尽量避免上述情形。但是，机械手在长时间运行之后，基板位置发生偏移的概率还是会大大增加。因此，非常有必要研发一种可以对基板的位置偏移进行有效调整的整列单元。 

实用新型内容

要解决的技术问题 

有鉴于此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种基板位置偏差调整装置，其可以对现有技术中容易发生的基板位置偏移进行有效的调整。 

解决问题的手段 

根据本实用新型的一个方案，提供一种基板位置偏差调整装置，用于对机械手所运送的基板进行调整，该基板位置偏差调整装置设置于所述机械手上，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整，使得所述基板在进入下一工序之前即完成位置偏差调整，所述基板位置偏差调整装置包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部，所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动，所述旋转气缸和所述导轨气缸整合到所述机械手的控制部中，通过所述纵向部实现所述旋转气缸和所述导轨气缸与所述侧部的电气连接，从而实现控制所述侧部的上下运动和水平运动。 

优选地，所述基板位置偏差调整装置设置于所述机械手的下方。 

所述基板位置偏差调整装置包括多个水平部、分别位于每个水平部两侧的两个侧部以及沿着所述机械手的手臂的纵向延伸的纵向部。 

所述旋转气缸和所述导轨气缸分别位于所述水平部的上、下面上。 

所述旋转气缸和所述导轨气缸可以对所述侧部执行反向复位操作。 

所述基板位置偏差调整装置呈支架的形式且设置于所述机械手的尾部。