[实用新型]包括应力补偿电路的垂直霍尔传感器电路

权利要求书

1.一种垂直霍尔传感器电路，包括：

装置，包括第一掺杂型、在半导体衬底内形成并具有相对于霍尔效应相关电特性的应力相关性的垂直霍尔效应区；

应力补偿电路，其包括以下各项中的至少一个：

横向电阻器装置，具有平行于半导体衬底的表面且相互正交的第一电阻元件和第二电阻元件，其特征在于，所述横向电阻器装置被配置成基于提供给应力补偿电路的基准信号而生成应力相关横向电阻器装置信号；以及

垂直电阻器装置，具有第一掺杂型的第三电阻元件，该第三电阻元件被配置成垂直地传导电流流动，并基于基准信号而生成应力相关垂直电阻器装置信号；

第一电路，被配置成向所述装置提供第一信号，其特征在于，所述第一信号是基于应力相关横向电阻器装置信号和应力相关垂直电阻器装置信号中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，还包括被配置成通过将应力相关横向电阻器装置信号与应力相关垂直电阻器装置信号组合，其特征在于，所述组合信号被提供给第一电路。

3.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述第一信号是以下各项中的一个：源信号、源电流、源电压、基准信号、基准电压以及基准电流。

4.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述装置包括被配置成接收第一信号作为基准信号的模数转换器。

5.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述横向电阻器装置的第一和第二电阻元件具有第一掺杂型。

6.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述横向电阻器装置的第一和第二电阻元件具有不同于第一掺杂型的第二掺杂型。

7.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述垂直电阻器装置包括第一掺杂型的第四电阻元件，其被配置成垂直地传导电流流动，其特征在于，所述第三电阻元件和所述第四电阻元件两者都具有平行于半导体衬底的主表面的细长横截面且相对于细长横截面的其相应纵轴而相互正交。

8.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述第一电路包括电流反射镜、电压复制电路、已调反馈电路、受控电流源以及受控电压源中的至少一个。

9.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述应力补偿电路包括受控电流源，该受控电流源具有被连接到基准信号的控制端子和被连接到组合电阻器装置的电阻器装置端子，所述组合电阻器装置包括横向电阻器装置和垂直电阻器装置，使得所述组合信号是受控电流源的输出电流。

10.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述横向电阻器装置和所述垂直电阻器装置被并联地连接。

11.根据权利要求2所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述组合信号是通过将对应于应力相关横向电阻器装置信号的横向电阻器装置电流和对应于应力相关垂直电阻器装置信号的垂直电阻器装置电流相加或相减而生成的组合电流。

12.根据权利要求1所述的垂直霍尔传感器电路，还包括用于将基准信号作为温度相关电量提供给应力补偿电路的温度补偿电路，其特征在于，所述温度相关电量基本上与半导体衬底内的应力无关。

13.根据权利要求12所述的垂直霍尔传感器电路，其特征在于，所述温度补偿电路包括比例绝对温度（PTAT）电路、负绝对温度（NTAT）电路以及带隙电路中的至少一个。